公开(公告)号：TW148933B

公开(公告)日：1991-01-01

申请号：TW078104024

申请日：1989-08-29

Applicant: 周晟

Inventor： 周晟 ,  林錦華 ,  張克蘇

IPC: G01B ,  G02B

Abstract: (一、)傳統橢圓儀必須藉轉動光學組件之不同角度以獲得橢
圓參數(__，△)，較費時間，無法及時化；調校時的人
為誤差較難避免，影響量測精度。(二、)本新型橢圓儀，以聲光調變器（AO MODULATOR）結合
MACH-ZEHNDER干涉術，產生時間的（TEMPORAL）外差
干涉信號，由鎖相放大器（LOCK-IN AMPLIFIERS）以
極高Ｑ值（～1,000,000）處理信號，並由個人電腦配
合橢圓術理論，及時獲得橢圓參數(__，△)；（請參考
附圖）。(三、)本新型橢圓儀不需轉動光學組件，可大幅減少調校時
間及避免調校誤差，並藉由鎖相放大器提高信號雜訊
比(SNR)，達到量測及時化及提高量測精度之需求。

Abstract in simplified Chinese: (一、)传统椭圆仪必须藉转动光学组件之不同角度以获得椭 圆参数(__，△)，较费时间，无法及时化；调校时的人 为误差较难避免，影响量测精度。(二、)本新型椭圆仪，以声光调制器（AO MODULATOR）结合 MACH-ZEHNDER干涉术，产生时间的（TEMPORAL）外差 干涉信号，由锁相放大器（LOCK-IN AMPLIFIERS）以 极高Ｑ值（～1,000,000）处理信号，并由个人电脑配 合椭圆术理论，及时获得椭圆参数(__，△)；（请参考 附图）。(三、)本新型椭圆仪不需转动光学组件，可大幅减少调校时 间及避免调校误差，并借由锁相放大器提高信号噪声 比(SNR)，达到量测及时化及提高量测精度之需求。