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公开(公告)号：CN113864664A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111152075.8
申请日：2021-09-29
Applicant: 广东粤海水务投资有限公司 , 中国科学院生态环境研究中心 , 哈尔滨工业大学水资源国家工程研究中心有限公司
IPC: F17D5/06
Abstract: 本发明公开了一种基于流量分布概率计算的管网漏损预警方法及系统。该方法包括：计算第一预设时间内待监测区域流量的均值和标准差；根据第一预设时间内待监测区域流量的均值和标准差确定漏损等级预警界限；计算第二预设时间内待监测区域流量大于漏损等级预警界限的预警比例，分别记为第一预警比例、第二预警比例和第三预警比例；根据待监测区域的实时流量、漏损等级预警界限以及预警比例，判断是否发生漏损。本发明将均值、40％置信区间上限、80％置信区间上限分别作为漏损预警不同级别界限，过程简单、计算量小；通过实测用水数据与预警上限和预警比例比较，判断是否发生漏损，与此同时还能确定漏损级别。
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公开(公告)号：CN105867075B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201610444231.0
申请日：2016-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。
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公开(公告)号：CN105895497A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610378862.7
申请日：2016-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，通过更换不同长度的毛细管的方式，难以满足等离子体长度微调的要求，操作难度大的问题。本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括放电电极、主放电电极、锁紧螺母、压圈和接线端子，预放电电极为圆筒形结构，主放电电极的一端为圆锥体，中部为一号圆柱体，另一端为二号圆柱体，接线端子通过压圈固定设置在位于二号圆柱体的一个底面上的凹孔中，二号圆柱体的一个底面为其一端的端面，其另一端设置在圆筒形结构内，两者螺纹连接，并通过锁紧螺母固定。本发明适用于毛细管极紫外光刻光源。
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公开(公告)号：CN105845320A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610388809.5
申请日：2016-06-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: H01F19/08 , H01F27/24 , H01F27/306
Abstract: 一种极紫外光源的主脉冲电源专用脉冲变压器，属于极紫外光刻光源技术领域。它现有的脉冲变压器因使用材质为晶态合金的磁芯，而导致的磁感应强度增量较低、有效磁导率较低或无法用于大功率场合的问题。该脉冲变压器的磁芯为两块尺寸相同的铁基非晶磁环，所述两块铁基非晶磁环同轴重叠且相互固定；铁基非晶磁环的外径为300毫米，内径为100毫米，厚度为28毫米；初级线圈的匝数为10，次级线圈的匝数为40；初级绕线的直径为17毫米，其外表面为聚四氟乙烯套管，内部为并绕的多根漆包线；次级绕线的直径为8毫米，其外表面为聚四氟乙烯薄膜，内部为并绕的多根漆包线。本发明适用于极紫外光源用的主脉冲电源的压缩回路。
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公开(公告)号：CN104619104A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510084923.4
申请日：2015-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源系统，涉及一种13.5nm的极紫外光源。它为了解决常规的高功率EUV光源体积庞大、价格昂贵，不适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源的问题。本发明中，主脉冲电源采用磁脉冲压缩网络对脉冲进行压缩陡化，主脉冲电源的高压电极和预脉冲电源的地电极共用一个电极，利用水冷系统对预脉冲高压电极和共用电极进行制冷，光学收集系统采用内嵌式Wolter I型收集系统，该系统包括10层收集镜，每层收集镜包括一个回转椭球面和一个回转双曲面，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共几何焦点。本发明体积小，真空度高，且价格低，适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103237401A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310110968.5
申请日：2013-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05G2/00
Abstract: 一种去除毛细管放电极紫外光刻光源中碎屑的除屑系统，它涉及一种去除极紫外光刻光源中碎屑的系统，以解决毛细管放电过程中产生的大量碎屑，会沉积在收集镜表面，破坏光学收集系统，而采用现有技术不能有效去除碎屑，去除效率较低的问题，它包括气瓶、连接管、喷气嘴、气体流量计和多个锥筒状金属箔片冷阱，气瓶的出口端通过气体流量计与连接管的一端连通，连接管的另一端与喷气嘴的一端连通，喷气嘴的另一端设置在位于毛细管的中心轴线上的放电光源辐射端处，且喷气嘴的轴线与毛细管的轴线相垂直，靠近毛细管的放电光源辐射端设置有套装在一起的多个锥筒状金属箔片冷阱。本发明用于去除毛细管放电极紫外光刻光源中的碎屑。
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公开(公告)号：CN102496538A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110385520.5
申请日：2011-11-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在极紫外光刻光源中，需要通过改变毛细管的长度的方式来实现两个主脉冲电极之间的距离的改变的问题。它包括长度可调的主脉冲电极段、预脉冲电极段和放电电极段，预脉冲电极段为圆筒形，预脉冲电极段的一端固定连接放电电极段的一端，放电电极段的另一端的端面为凹球面；主脉冲电极段的一端从预脉冲电极段的另一端插入其内部，并与预脉冲电极段电连接，主脉冲电极段的另一端露在预脉冲电极段外部，且其末端具有尖端，所述放电电极段呈柱状，放电电极段的截面半径的范围为0.2mm～3.5mm。本发明作为一种极紫外光刻光源的放电电极。
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公开(公告)号：CN1289244C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN03132642.0
申请日：2003-09-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 燃烧合成反应器，它涉及一种制备金属陶瓷、梯度功能材料、金属间化合物等复合材料的具有大尺寸模具套的反应器。本发明模具外套(1)固定在加压器(3)的底座(3-1)上面的中部，升降台(2)设置在模具外套(1)内的下部，模具(4)设置在模具外套(1)内升降台(2)的上面，加压器(3)的压头(3-2)设置在加压器(3)上横梁(3-3)中部的下侧，压头(3-2)与模具外套(1)上下对应设置。本发明解决了大尺寸难以成形的问题，可在反应器中直接制备预制坯，克服了移动大尺寸压坯带来的定位不准确、易损坏的缺点。可根据材料实际尺寸的大小，更换调整模具。具有设备简单、工艺简便、强度高、耐高温、抗热震、抗烧蚀、尺寸大、能耗低、生产效率高、成本低、安全性稳定性好的优点。
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公开(公告)号：CN108058078A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201711381725.X
申请日：2017-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种销轴倒角装置，它涉及机械加工技术领域。本发明为解决现有销轴倒角加工效率低，成本高，批量生产造成环境污染的问题。本发明包括上料机、送料管、下料管、弹簧、输料管、收集箱、两个拨料盘和两个磨片，两个拨料盘沿竖直方向依次设置，拨料盘连接有回转电机，每个拨料盘的下端分别各设有一个磨片，上料机设置在上端拨料盘上端的一侧，拨料盘上端的中部设有圆锥体，圆锥体的斜面上沿外圆周表面均布设有多个半圆形滑道凹槽，半圆形滑道凹槽的末端设有下料斜孔，上端拨料盘另一侧的下料斜孔的下端设有下料管，下料管的下端设有输料管，输料管上端侧壁的上部设有豁口，豁口设置在下料管的后端，豁口的后端设有弹簧。本发明用于销轴倒角的加工。
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