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公开(公告)号：CN102257602A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200980151101.6
申请日：2009-12-21
Applicant: 嘉柏微电子材料股份公司
IPC: H01L21/301
CPC classification number: B28D5/007 , Y02P70/179 , Y10T83/0443
Abstract: 本发明提供用于使用线锯对基材进行切片的组合物，其中该组合物包含液体载体和研磨剂。本发明进一步提供使用线锯和组合物对基材进行切片的方法。
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公开(公告)号：CN102257603B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN200980151102.0
申请日：2009-12-21
Applicant: 嘉柏微电子材料股份公司
IPC: B28D5/00
CPC classification number: B28D5/007 , Y02P70/179
Abstract: 本发明提供用于在线锯切割过程期间从线锯切割浆料中去除磁性或磁化污染物的方法和装置。该装置包括限定浆料流动路径的再循环浆料分配系统。该再循环浆料分配系统包括用于从浆料中去除磁性或可磁化的污染物的磁力分离器，其中经纯化的浆料被排出回到该再循环浆料分配系统内的再循环中。
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公开(公告)号：CN102257604B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN200980151086.5
申请日：2009-12-21
Applicant: 嘉柏微电子材料股份公司
IPC: H01L21/302 , H01L31/042
CPC classification number: B28D5/045 , B28D5/007 , B28D5/0076 , C09K3/1463 , Y02P70/179
Abstract: 本发明提供了线锯切割方法，该方法包括：用线锯切割工件，同时将含水切割流体从切割流体再循环贮存器施加到该线锯上；监测化学性质、物理性质中的至少之一或这两者；以及在切割所述工件的同时调节该切割流体的化学组成以保持所监测的性质。此外，本发明提供了实施本发明方法的装置。
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公开(公告)号：CN102257604A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200980151086.5
申请日：2009-12-21
Applicant: 嘉柏微电子材料股份公司
IPC: H01L21/302 , H01L31/042
CPC classification number: B28D5/045 , B28D5/007 , B28D5/0076 , C09K3/1463 , Y02P70/179
Abstract: 本发明提供了线锯切割方法，该方法包括：用线锯切割工件，同时将含水切割流体从切割流体再循环贮存器施加到该线锯上；监测化学性质、物理性质中的至少之一或这两者；以及在切割所述工件的同时调节该切割流体的化学组成以保持所监测的性质。此外，本发明提供了实施本发明方法的装置。
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公开(公告)号：CN102257603A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200980151102.0
申请日：2009-12-21
Applicant: 嘉柏微电子材料股份公司
IPC: H01L21/301 , H01L31/042
CPC classification number: B28D5/007 , Y02P70/179
Abstract: 本发明提供用于在线锯切割过程期间从线锯切割浆料中去除磁性或磁化污染物的方法和装置。该装置包括限定浆料流动路径的再循环浆料分配系统。该再循环浆料分配系统包括用于从浆料中去除磁性或可磁化的污染物的磁力分离器，其中经纯化的浆料被排出回到该再循环浆料分配系统内的再循环中。
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公开(公告)号：CN102257092A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200980151100.1
申请日：2009-12-17
Applicant: 嘉柏微电子材料股份公司
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: B28D5/007 , B28D1/08 , C09K3/1463 , C10M125/08 , C10M173/02 , C10M2201/061 , C10M2201/10 , C10M2209/04 , C10M2209/12 , C10M2217/028 , C10N2240/401 , Y02P70/179
Abstract: 本发明的线锯切割流体组合物包含25至75重量％的颗粒研磨剂，该颗粒研磨剂悬浮于含有聚合物粘度调节剂的含水载体中，该聚合物粘度调节剂包括包含大部分的非离子型单体单元(优选包含100摩尔％的非离子型单体单元)的聚合物，具有至少5kDa的数均分子量(Mn)，且以足以为该组合物提供在25℃下在60rpm的心轴旋转速度下在50至1000cP范围内例如50至700cp的布氏粘度的浓度存在于该组合物中。在一个实施方式中，该粘度调节剂包括具有至少200kDa的重均分子量(Mw)的聚合物。当利用200kDa或更大Mw的粘度调节剂时，优选的线锯切割方法为通过在不大于104s-1的相对低的剪切速率下运行的泵和喷嘴循环和施加该切割流体。
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公开(公告)号：CN102257091A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200980151099.2
申请日：2009-12-21
Applicant: 嘉柏微电子材料股份公司
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: B28D5/007 , C09K3/1463 , Y02P70/179
Abstract: 本发明提供含水线锯切割流体组合物，其减少线锯切割过程期间所产生的氢气的量。该组合物由含水载体、颗粒研磨剂、增稠剂和氢气抑制剂组成。
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公开(公告)号：CN102257091B
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN200980151099.2
申请日：2009-12-21
Applicant: 嘉柏微电子材料股份公司
IPC: H01L21/304 , C09K3/14
CPC classification number: B28D5/007 , C09K3/1463 , Y02P70/179
Abstract: 本发明提供含水线锯切割流体组合物，其减少线锯切割过程期间所产生的氢气的量。该组合物由含水载体、颗粒研磨剂、增稠剂和氢气抑制剂组成。
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公开(公告)号：CN102257092B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN200980151100.1
申请日：2009-12-17
Applicant: 嘉柏微电子材料股份公司
IPC: H01L21/304 , C09K3/14
CPC classification number: B28D5/007 , B28D1/08 , C09K3/1463 , C10M125/08 , C10M173/02 , C10M2201/061 , C10M2201/10 , C10M2209/04 , C10M2209/12 , C10M2217/028 , C10N2240/401 , Y02P70/179
Abstract: 本发明的线锯切割流体组合物包含25至75重量％的颗粒研磨剂，该颗粒研磨剂悬浮于含有聚合物粘度调节剂的含水载体中，该聚合物粘度调节剂包括包含大部分的非离子型单体单元(优选包含100摩尔％的非离子型单体单元)的聚合物，具有至少5kDa的数均分子量(Mn)，且以足以为该组合物提供在25℃下在60rpm的心轴旋转速度下在50至1000cP范围内例如50至700cp的布氏粘度的浓度存在于该组合物中。在一个实施方式中，该粘度调节剂包括具有至少200kDa的重均分子量(Mw)的聚合物。当利用200kDa或更大Mw的粘度调节剂时，优选的线锯切割方法为通过在不大于104s-1的相对低的剪切速率下运行的泵和喷嘴循环和施加该切割流体。
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