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公开(公告)号:CN1894155A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200480037174.X
申请日:2004-11-08
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81C3/002 , H05K3/3436 , H05K2201/094 , H05K2201/09418 , H05K2201/2036 , H05K2203/048 , Y02P70/613
Abstract: 本发明公开了一种方法和系统,用于在制造期间有效地自动对准MEMS的部件,和控制这些部件之间的距离。根据本发明,每个MEMS部件包括至少一个衬垫,所述衬垫对准以形成衬垫对。在优选实施例中,每个部件包括三个衬垫。两对衬垫的衬垫形状是矩形,一对相对于另一对旋转约等于90°的角,并且第三对的衬垫形状是环形。因此,衬垫对的一个允许根据第一方向对准,第二衬垫对允许根据第二方向对准,并且第三衬垫对允许旋转对准。
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