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公开(公告)号:CN102763492B
公开(公告)日:2016-04-13
申请号:CN201080054640.0
申请日:2010-12-01
Applicant: 埃普科斯股份有限公司
CPC classification number: H01L41/0477 , H01L23/49844 , H01L23/49866 , H01L41/0472 , H01L41/1873 , H01L41/29 , H01L2924/0002 , H03H9/02929 , H03H9/14538 , H05K1/0265 , H05K1/0306 , H05K1/09 , H05K3/048 , H05K3/388 , H05K2201/0338 , H01L2924/00
Abstract: 说明一种尤其是用于利用声波工作的器件的金属化部,该金属化部具有高电源稳定性和高导电性。为此,所述金属化部包括具有下层(BL)和上层(UL)的基座,所述下层包括钛并且所述上层包括铜。金属化部的布置在基座上的上覆层(TL)包括铝。
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公开(公告)号:CN105702660A
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:CN201610154919.5
申请日:2010-12-01
Applicant: 埃普科斯股份有限公司
CPC classification number: H01L41/0477 , H01L23/49844 , H01L23/49866 , H01L41/0472 , H01L41/1873 , H01L41/29 , H01L2924/0002 , H03H9/02929 , H03H9/14538 , H05K1/0265 , H05K1/0306 , H05K1/09 , H05K3/048 , H05K3/388 , H05K2201/0338 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及用于电器件中的载流结构的金属化部及其制造方法,该金属化部布置在衬底(S)上,且具有基座、布置在该基座上的上覆层(TL)以及该基座中的布置在下层(BL)与上层(UL)之间的中间层(ML),其中基座包括下层(BL),该下层布置在衬底表面上方或者布置在衬底表面上并且包括Ti或者钛化合物作为主要成分,基座包括上层(UL),该上层布置在下层(BL)上方或者直接布置在下层(BL)上并且包括Cu作为主要成分,上覆层(TL)直接布置在上层上并且包括Al作为主要成分,以及中间层(ML)包括Ag。
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公开(公告)号:CN102763492A
公开(公告)日:2012-10-31
申请号:CN201080054640.0
申请日:2010-12-01
Applicant: 埃普科斯股份有限公司
CPC classification number: H01L41/0477 , H01L23/49844 , H01L23/49866 , H01L41/0472 , H01L41/1873 , H01L41/29 , H01L2924/0002 , H03H9/02929 , H03H9/14538 , H05K1/0265 , H05K1/0306 , H05K1/09 , H05K3/048 , H05K3/388 , H05K2201/0338 , H01L2924/00
Abstract: 说明一种尤其是用于利用声波工作的器件的金属化部,该金属化部具有高电源稳定性和高导电性。为此,所述金属化部包括具有下层(BL)和上层(UL)的基座,所述下层包括钛并且所述上层包括铜。金属化部的布置在基座上的上覆层(TL)包括铝。
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