公开(公告)号：CN101680840A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880018636.1

申请日：2008-04-17

Applicant: 堀场乔宾伊冯公司

Inventor： B·鲁塞尔 ,  A·拉帕波尔 ,  A·科克塔

IPC: G01N21/65 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01N21/65 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/44 ,  G01N2021/656

Abstract: 一种用于探测样品(1)的表面(2)光谱成像方法和系统。该光谱成像系统包括：高倍放大或低倍放大装置，其包括物镜(5)；外壳(6)，其包括光谱仪；以及扫描装置(11)，其设置在高倍放大或低倍放大装置的物镜(5)与光谱仪之间，且能够沿两个方向X和Y扫描样品表面(2)，以照射样品表面(2)上的被扫描区域(3)。根据本发明，当在被扫描区域上扫描激发射束(8)期间，在探测装置(10)的像素上对在被扫描区域上测量的发射光束(9)的能量进行积分，产生每条像素线的平均光谱数据；存储装置(12)被连接到探测装置(10)，每条像素线的所述平均光谱数据被传送到存储装置(12)，并且所述存储装置(12)包括存储器，所述存储器能够存储M条像素线的平均光谱数据；并且成像装置(13)被连接到存储装置(12)，M条像素线的所述平均光谱数据被同时发送到所述成像装置(13)，以获得被扫描区域的平均光谱图像。

公开(公告)号：CN101680840B

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN200880018636.1

申请日：2008-04-17

Applicant: 堀场乔宾伊冯公司

Inventor： B·鲁塞尔 ,  A·拉帕波尔 ,  A·科克塔

IPC: G01N21/65 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01N21/65 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/44 ,  G01N2021/656

Abstract: 一种用于探测样品(1)的表面(2)光谱成像方法和系统。该光谱成像系统包括：高倍放大或低倍放大装置，其包括物镜(5)；外壳(6)，其包括光谱仪；以及扫描装置(11)，其设置在高倍放大或低倍放大装置的物镜(5)与光谱仪之间，且能够沿两个方向X和Y扫描样品表面(2)，以照射样品表面(2)上的被扫描区域(3)。根据本发明，当在被扫描区域上扫描激发射束(8)期间，在探测装置(10)的像素上对在被扫描区域上测量的发射光束(9)的能量进行积分，产生每条像素线的平均光谱数据；存储装置(12)被连接到探测装置(10)，每条像素线的所述平均光谱数据被传送到存储装置(12)，并且所述存储装置(12)包括存储器，所述存储器能够存储M条像素线的平均光谱数据；并且成像装置(13)被连接到存储装置(12)，M条像素线的所述平均光谱数据被同时发送到所述成像装置(13)，以获得被扫描区域的平均光谱图像。