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公开(公告)号:CN102713541A
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN201080052222.8
申请日:2010-11-18
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0278 , G01J3/20
Abstract: 本发明涉及一种具有凹面衍射光栅的光学分光计,其包括:入射狭缝(3),适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束(5);凹面衍射光栅(1),适合于接收具有入射角α的所述入射光束(5)并衍射所述光束以形成衍射光束,所述衍射光束与所述光栅(1)的法线形成角β(λ);至少一个凹面镜(8、8a、8b、8c),由具有半径为rcyl的圆形截面的柱面的一部分构成,所述镜(8、8a、8b、8c)适合于接收沿方向β(λ)的所述衍射光束(6、6a、6b、6c)并将所述光束聚焦在至少一个出射狭缝(4、4a、4b、4c)上;以及至少一个光检测器(9、9a、9b、9c),其被光学耦合到所述出射狭缝(4、4a、4b、4c)以测量被衍射并由柱面镜(8、8a、8b、8c)聚焦的所述光束。根据本发明,所述镜(8、8a、8b、8c)位于叶形线上,该叶形曲线在所述衍射光栅(1)的方向上与沿所述方向β(λ)的所述衍射光束(6、6a、6b、6c)在罗兰圆(2)上的焦点相距距离d(λ)处,其中:d(λ)=rcyl/23/2/cos(β)。
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公开(公告)号:CN102713541B
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:CN201080052222.8
申请日:2010-11-18
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0278 , G01J3/20
Abstract: 本发明涉及一种具有凹面衍射光栅的光学分光计,其包括:入射狭缝(3),适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束(5);凹面衍射光栅(1),适合于接收具有入射角α的所述入射光束(5)并衍射所述光束以形成衍射光束,所述衍射光束与所述光栅(1)的法线形成角β(λ);至少一个凹面镜(8、8a、8b、8c),由具有半径为rcyl的圆形截面的柱面的一部分构成,所述镜(8、8a、8b、8c)适合于接收沿方向β(λ)的所述衍射光束(6、6a、6b、6c)并将所述光束聚焦在至少一个出射狭缝(4、4a、4b、4c)上;以及至少一个光检测器(9、9a、9b、9c),其被光学耦合到所述出射狭缝(4、4a、4b、4c)以测量被衍射并由柱面镜(8、8a、8b、8c)聚焦的所述光束。根据本发明,所述镜(8、8a、8b、8c)位于叶形线上,该叶形曲线在所述衍射光栅(1)的方向上与沿所述方向β(λ)的所述衍射光束(6、6a、6b、6c)在罗兰圆(2)上的焦点相距距离d(λ)处,其中:d(λ)=rcyl/23/2/cos(β)。
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