公开(公告)号：CN114355432B

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202111648737.0

申请日：2021-12-30

Applicant: 复旦大学

Inventor： 黄良玉 ,  王银涛 ,  牛犇 ,  何贞岑 ,  江紫环 ,  刘佳林 ,  傅云清 ,  姚科

IPC: G01T1/29 ,  H01J47/00

Abstract: 本发明涉及一种微型微弱带电粒子束流探测装置，包括：电子抑制极，用于抑制二次电子；束流吸收极，用于吸收带电粒子束流；信号放大极，用于产生二次放大的电子流；信号吸收极，用于探测吸收总的放大电流信号；电子抑制极、束流吸收极、信号放大极和信号吸收极分别为沿迎面带电束流方向依次设置，探测装置的工作环境为真空环境。与现有技术相比，本发明具有探测精度高、生产成本低、易于加工等优点。

公开(公告)号：CN114355432A

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202111648737.0

申请日：2021-12-30

Applicant: 复旦大学

Inventor： 黄良玉 ,  王银涛 ,  牛犇 ,  何贞岑 ,  江紫环 ,  刘佳林 ,  傅云清 ,  姚科

IPC: G01T1/29 ,  H01J47/00

Abstract: 本发明涉及一种微型微弱带电粒子束流探测装置，包括：电子抑制极，用于抑制二次电子；束流吸收极，用于吸收带电粒子束流；信号放大极，用于产生二次放大的电子流；信号吸收极，用于探测吸收总的放大电流信号；电子抑制极、束流吸收极、信号放大极和信号吸收极分别为沿迎面带电束流方向依次设置，探测装置的工作环境为真空环境。与现有技术相比，本发明具有探测精度高、生产成本低、易于加工等优点。