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公开(公告)号：CN104253013A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410161388.3
申请日：2014-04-15
Applicant: 夏维东
Abstract: 本发明提供一种高通量平面光源产生的装置，主要包括一管状弧室、n个棒状阴极、一个中间具有圆孔的板状阳极、一个石英透射窗口；弧室的一端为板状阳极，另一端安装石英透射窗口；n个阴极发射端位于弧室内正n边形的各个顶点；所述n边形、弧室、阳极圆孔共轴线；在弧室壁面阴极周围分布气体注入孔缝；从n个阴极发射端始发的电弧汇聚至阳极圆孔，形成大致均匀的圆盘状等离子体，产生的高强度辐射光直接和经弧室壁面反射，在透射窗口外形成较为均匀的高通量平面光源；强迫气体的流动稳定电弧，保护透射窗、弧室壁面免受电极烧蚀蒸气污染。本发明提高电弧功率、增强发光功率，气体流动设计保护透射窗口及弧室壁面免受金属蒸气污染。
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