公开(公告)号：CN1022136C

公开(公告)日：1993-09-15

申请号：CN88107822

申请日：1988-11-09

Applicant: 外沙拉股份公司

Inventor： 阿里·利托 ,  卡勒沃·雅平伦 ,  安娜-迈雅·卡尔凯伦

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0828

Abstract: 容性加速度计及其制造方法。该加速度计包括两个有固定侧面电极4，6′的侧面电极构件15和装有中心电极17的中心电极构件16，构件16包括一平行于构件15的平面主体件3其中保留在15之间的部分加工成靠近4，6′处有一个贯穿主件3呈U形且描成悬臂状电极17的槽，电极17平行于主件3而使17的端部1比所述3的部分细，以在电极4，6′与17之间形成间隙7，且与3形成整体的构件16的杆件2实质上比端部1细，以使17具有挠曲性。本发明的传感器结构易于成批生产。

公开(公告)号：CN1033110A

公开(公告)日：1989-05-24

申请号：CN88107822

申请日：1988-11-09

Applicant: 外沙拉股份公司

Inventor： 阿里·利托 ,  卡勒沃·雅平伦 ,  安娜-迈雅·卡尔凯伦

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0828

Abstract: 容性加速度计及其制造方法。该加速度计包括两个有固定侧面电极4，6′的侧面电极构件15和装有中心电极17的中心电极构件16，构件16包括一平行于构件15的平面主体件3其中保留在15之间的部分加工成靠近4，6′处有一个贯穿主件3呈U形且描成悬臂状电极17的槽，电极17平行于主件3而使17的端部1比所述3的部分细，以在电极4，6′与17之间形成间隙7，且与3形成整体的构件16的杆件2实质上比端部1细，以使17具有挠曲性。本发明的传感器结构易于成批生产。