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公开(公告)号:CN1721838B
公开(公告)日:2010-07-14
申请号:CN200510084614.3
申请日:2005-07-15
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01N21/3504
Abstract: 本发明涉及气体中杂质的定量方法及装置。从气体中除去杂质、导入容器15、透过容器15光的强度作为参照实施测定。将含已知浓度杂质的气体导入同一容器15,保持同温同压,测定透过容器15光的强度,由上述两次测定所得的光强度之比求杂质的吸光度。此杂质吸光度作为杂质浓度函数记忆在存储器20a中。将含未知浓度杂质的气体导入容器15,保持同温同压,测定透过容器15的光强度,求经此测定所得杂质对上述参照的吸光度,此吸光度应用于上述函数、求杂质浓度。
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公开(公告)号:CN1721838A
公开(公告)日:2006-01-18
申请号:CN200510084614.3
申请日:2005-07-15
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01N21/3504
Abstract: 本发明涉及气体中杂质的定量方法及装置。从气体中除去杂质、导入容器15、透过容器15光的强度作为参照实施测定。将含已知浓度杂质的气体导入同一容器15,保持同温同压,测定透过容器15光的强度,由上述两次测定所得的光强度之比求杂质的吸光度。此杂质吸光度作为杂质浓度函数记忆在存储器20a中。将含未知浓度杂质的气体导入容器15,保持同温同压,测定透过容器15的光强度,求经此测定所得杂质对上述参照的吸光度,此吸光度应用于上述函数、求杂质浓度。
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公开(公告)号:CN1710407A
公开(公告)日:2005-12-21
申请号:CN200510078909.X
申请日:2005-06-16
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01N21/031 , G01N21/3504
Abstract: 具备照射出在某一波长范围扩展的光线的光源S、使从上述光源照射出的光线发生反射的第1反射镜M1、引导上述被第1反射镜反射的光线的长光程气管1、从上述长光程气管射出的光线发生反射的第2反射镜M2、以及检测被上述第2反射镜反射的光线的传感器D,并且在上述光源S到上述传感器D的光程间,设置了具有在与光程正交的2偏振方向(X、Y)间焦距不同的双聚焦特性的透镜21、22。补偿设置在气管1内部的球面镜6、7的像差,使得气管1的光线透过率不会降低。
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