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公开(公告)号：CN102914268A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210273670.1
申请日：2012-08-02
Applicant: 大塚电子株式会社
Inventor： 藤森匡嘉
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明是一种膜厚测量装置(100)，该膜厚测量装置(100)具备:光源(10)、第一光路、第一聚光透镜、分光测量部(40)、第二光路、第二聚光透镜、以及数据处理部(50)。光源照射具有规定的波长范围的测量光。第一光路将从光源(10)照射的测量光引导到被测量物。第一聚光透镜将从第一光路射出的测量光汇聚到被测量物。分光测量部(40)获取反射率或者透射率的波长分布特性。第二光路将由被测量物反射的光或者透过被测量物的光引导到分光测量部。第二聚光透镜聚光到第二光路的端部。数据处理部(50)通过分析由分光测量部(40)获取的波长分布特性来求出被测量物的膜厚。
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