照明装置和照明方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114041079A

    公开(公告)日:2022-02-11

    申请号:CN202080046808.7

    申请日:2020-06-29

    Abstract: 照明装置(1)具有:光源(2),其射出相干光;扫描部(5),其使从光源射出的相干光扫描;第1光学系统(6),其调节来自扫描部的相干光的光路;第1光学部件(7),其使来自第1光学系统的相干光扩散;以及第2光学系统(8),其调节来自第1光学部件的相干光的光路。利用从第2光学系统射出的相干光对被照射面(PP)上的被照明区域(LZ)进行照明。与被照射到被照明区域的相干光的光轴垂直的面内的辐射照度〔W/m2〕是非离散的。

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