超声波元件以及超声波内窥镜

    公开(公告)号:CN103597855B

    公开(公告)日:2016-10-19

    申请号:CN201280029137.9

    申请日:2012-05-29

    CPC classification number: B06B1/0622 A61B8/12 A61B8/445 A61B8/4483 B06B1/0292

    Abstract: 超声波元件(20)具备:硅衬底(11);下部电极层(12),具有多个下部电极部(12A)和多个下部布线部(12B),与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子(52)连接;下部绝缘层(13);上部绝缘层(15),形成有分别小于下部电极部(12A)的多个空腔(14);上部电极层(16),具有隔着各个空腔(14)与各个下部电极部(12A)对置配置的、比下部电极部(12A)小而比空腔(14)大的多个上部电极部(16A)、和多个上部布线部(16B),与检测电容信号的接地电位的上部电极端子(51)连接;以及保护层(17)。

    超声波转换器以及电子设备

    公开(公告)号:CN101559420B

    公开(公告)日:2011-11-02

    申请号:CN200910133912.5

    申请日:2009-04-10

    CPC classification number: B06B1/0292

    Abstract: 本发明提供超声波转换器以及电子设备。该超声波转换器包括超声波振子单元、第1导电层、驻极体膜、绝缘层和第2导电层;上述超声波振子单元配置在基板的一侧表面上,包括下部电极、配置在上述下部电极上的第1空隙部和配置在上述第1空隙部上的上部电极;上述第1导电层配置在上述基板的另一侧表面上,与上述下部电极和上述上部电极中的任意一个电连接;上述驻极体膜配置在上述第1导电层上;上述绝缘层配置在上述驻极体膜上;上述第2导电层配置在上述绝缘层上,与上述下部电极和上述上部电极中的、未与上述第1导电层电连接的电极电连接。

    超声波元件以及超声波内窥镜

    公开(公告)号:CN103583055B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201280026079.4

    申请日:2012-05-29

    Abstract: US元件(20)具备硅衬底(11)以及在硅衬底(11)上按顺序层叠的:下部电极层(12),具有多个下部电极部(12A)和多个下部布线部(12B),与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子(52)连接;下部绝缘层(13);形成多个空腔(14)的上部绝缘层(15);上部电极层(16),具有多个上部电极部(16A)和多个上部布线部(16B)、与用于检测电容信号的、接地电位的上部电极端子(51)连接;以及保护层(17),并且US元件(20)还具备至少在上述下部布线部(12B)的上侧形成的、与接地电位的屏蔽电极端子(53)连接的屏蔽电极部(71)。

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