公开(公告)号：CN110441397A

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201910332609.1

申请日：2019-04-24

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 藤森洋志 ,  大野修 ,  真柄泰典 ,  长和彦 ,  野中修

IPC: G01N29/06

Abstract: 超声波检查装置、3D打印机装置和推理模型的制成方法。超声波检查装置具有：接收电路，其接收放射到检查对象的超声波作为来自上述检查对象的回波信号；以及控制电路，其生成基于上述接收电路接收到的回波信号的检查回波图案，进行基于上述检查对象的合格样品的合格品回波图案和基于上述检查对象的不合格样品的不合格品回波图案与上述检查回波图案的类比判定，根据类比判定结果来判定上述检查对象是合格品还是不合格品。

公开(公告)号：CN101144920B

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN200710149251.6

申请日：2007-09-07

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 藤森洋志

IPC: G02F1/13 ,  B23Q1/25 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：用于搬运作为被检体的薄板状的基板(4)的浮起台(1A、2A、3A)；以及吸附搬运部(5、6、7)，它们配置在这些浮起台的与搬运方向正交的方向中的任意侧，保持基板(4)的端部并对基板(4)施加搬运力，该基板检查装置通过在这些吸附搬运部之间依次交接基板(4)，来进行基板(4)的搬运。根据本发明的基板检查装置，即使搬运路径长，也不会使基板变形，而且能够以良好的精度搬运基板。

公开(公告)号：CN101144920A

公开(公告)日：2008-03-19

申请号：CN200710149251.6

申请日：2007-09-07

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 藤森洋志

IPC: G02F1/13 ,  B23Q1/25 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：用于搬运作为被检体的薄板状的基板(4)的浮起台(1A、2A、3A)；以及吸附搬运部(5、6、7)，它们配置在这些浮起台的与搬运方向正交的方向中的任意侧，保持基板(4)的端部并对基板(4)施加搬运力，该基板检查装置通过在这些吸附搬运部之间依次交接基板(4)，来进行基板(4)的搬运。根据本发明的基板检查装置，即使搬运路径长，也不会使基板变形，而且能够以良好的精度搬运基板。