公开(公告)号：CN105445645A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201510926510.6

申请日：2015-12-14

Applicant: 宁波大学

Inventor： 姚剑婷 ,  张跃军 ,  刘画池 ,  贾徭 ,  吴诒轩 ,  王超

IPC: G01R31/28

CPC classification number: G01R31/2856

Abstract: 本发明公开了一种用于监测集成电路NBTI老化效应的数字型监测电路，包括用于产生参考信号的第一传感器、用于产生老化信号的第二传感器、相位偏差比较器、比较电路和输出电路，第一传感器的输出端和比较电路的第一输入端连接，相位偏差比较器的输出端分别与比较电路的第二输入端、比较电路的第三输入端和比较电路的使能端连接，第二传感器的输出端和比较电路的第四输入端连接，比较电路的输出端和输出电路连接，第一传感器采用的VCO电路作为参考电路，第二传感器采用的使用一段时间的VCO电路作为老化产生电路；优点是消除监测器自身存在的老化效应对老化监测结果造成的不良影响，老化监测数据准确度较高。

公开(公告)号：CN105445645B

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201510926510.6

申请日：2015-12-14

Applicant: 宁波大学

Inventor： 姚剑婷 ,  张跃军 ,  刘画池 ,  贾徭 ,  吴诒轩 ,  王超

IPC: G01R31/28

Abstract: 本发明公开了一种用于监测集成电路NBTI老化效应的数字型监测电路，包括用于产生参考信号的第一传感器、用于产生老化信号的第二传感器、相位偏差比较器、比较电路和输出电路，第一传感器的输出端和比较电路的第一输入端连接，相位偏差比较器的输出端分别与比较电路的第二输入端、比较电路的第三输入端和比较电路的使能端连接，第二传感器的输出端和比较电路的第四输入端连接，比较电路的输出端和输出电路连接，第一传感器采用的VCO电路作为参考电路，第二传感器采用的使用一段时间的VCO电路作为老化产生电路；优点是消除监测器自身存在的老化效应对老化监测结果造成的不良影响，老化监测数据准确度较高。

公开(公告)号：CN106166643B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201610455158.7

申请日：2016-06-21

Applicant: 宁波大学

Inventor： 刘画池 ,  宋宝安 ,  姚剑婷 ,  金友良

IPC: B23K26/042 ,  B23K26/03

Abstract: 本发明公开了一种提高飞秒激光加工精度的方法，将测量平台与微纳结构加工平台集成在一起，利用样品距离检测装置与旋转矩阵法相结合，利用该检测装置获得四个待加工区域的位置数据代入旋转矩阵后，计算获得修正后的微纳结构位置数据，并将该数据代入加工系统，精确地将激光光斑中心定位在样品上，优点在于不需要在不同平台间互相切换，表面高度数据测量后可以直接输入到计算机，利用旋转矩阵法消除待加工样品、衬底及三维移动平台表面等的倾斜造成的误差，精确定位被加工样品的位置，使得待加工样品准确设置在激光光斑的中心处，进而提高激光微纳加工的精度，使飞秒激光加工的精度可以达到300nm左右，并保证实际获得的结构与预设的结构相同。

公开(公告)号：CN106960907B

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201710112369.5

申请日：2017-02-28

Applicant: 宁波大学

Inventor： 谷婷 ,  王国祥 ,  刘画池 ,  沈祥 ,  吕业刚 ,  李超 ,  王慧

IPC: H01L45/00

Abstract: 本发明公开了一种用于相变存储器的稀土Er掺杂Ge2Sb2Te5薄膜材料及其制备方法，特点是其化学结构式为(Er)x(Ge2Sb2Te5)100‑x，其中0

公开(公告)号：CN106960907A

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201710112369.5

申请日：2017-02-28

Applicant: 宁波大学

Inventor： 谷婷 ,  王国祥 ,  刘画池 ,  沈祥 ,  吕业刚 ,  李超 ,  王慧

IPC: H01L45/00

CPC classification number: H01L45/144 ,  H01L45/1625

Abstract: 本发明公开了一种用于相变存储器的稀土Er掺杂Ge2Sb2Te5薄膜材料及其制备方法，特点是其化学结构式为(Er)x(Ge2Sb2Te5)100‑x，其中0

公开(公告)号：CN106166643A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201610455158.7

申请日：2016-06-21

Applicant: 宁波大学

Inventor： 刘画池 ,  宋宝安 ,  姚剑婷 ,  金友良

IPC: B23K26/042 ,  B23K26/03

CPC classification number: B23K26/042 ,  B23K26/032

Abstract: 本发明公开了一种提高飞秒激光加工精度的方法，将测量平台与微纳结构加工平台集成在一起，利用样品距离检测装置与旋转矩阵法相结合，利用该检测装置获得四个待加工区域的位置数据代入旋转矩阵后，计算获得修正后的微纳结构位置数据，并将该数据代入加工系统，精确地将激光光斑中心定位在样品上，优点在于不需要在不同平台间互相切换，表面高度数据测量后可以直接输入到计算机，利用旋转矩阵法消除待加工样品、衬底及三维移动平台表面等的倾斜造成的误差，精确定位被加工样品的位置，使得待加工样品准确设置在激光光斑的中心处，进而提高激光微纳加工的精度，使飞秒激光加工的精度可以达到300nm左右，并保证实际获得的结构与预设的结构相同。

公开(公告)号：CN205748294U

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201620619954.5

申请日：2016-06-21

Applicant: 宁波大学

Inventor： 姚剑婷 ,  宋宝安 ,  刘画池 ,  金友良

IPC: G01B11/14

Abstract: 本实用新型公开了一种用于激光加工的样品距离检测装置，包括沿主光路顺序排列的用于发出加工光束的激光器、激光功率调谐机构、快门、第一偏振分光棱镜、全反镜、激光光束直径调整系统、第二偏振分光棱镜、物镜和用于放置样品的三维移动平台，特点是三维移动平台背面设置有背景照明LED，第二偏振分光棱镜的分光路上设置有成像CCD，第一偏振分光棱镜的分光路上设置有聚焦透镜和光电倍增管，光电倍增管与放置在三维移动平台上的样品表面处在共聚焦位置，激光器、三维移动平台、快门、激光功率调谐机构和光电倍增管分别与控制计算机连接，优点在于利用加工系统中共用的激光器及三维移动平台，在实现精确测量的同时，尽可能地降低成本。