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1.

发明专利
Process for producing a high purity aqueous hydrogen peroxide solution 失效

公开(公告)号：JP3509342B2

公开(公告)日：2004-03-22

申请号：JP30296095

申请日：1995-11-21

Applicant: 宇部興産株式会社

Inventor： 洋介上野 , 昌彦渡部 , 悠紀夫稲葉 , 幸博西田

IPC: B01D3/00 , B01D3/10 , B01D3/16 , B01J19/30 , C01B15/013

2.

发明专利
Apparatus for producing a high purity hydrogen peroxide aqueous solution 有权

公开(公告)号：JP3632580B2

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：JP2000290117

申请日：2000-09-25

Applicant: 宇部興産株式会社

Inventor： 洋介上野 , 昌彦渡部 , 悠紀夫稲葉 , 幸博西田

IPC: B01D3/00 , C01B15/013 , H01L21/306

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