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公开(公告)号:JP6237882B2
公开(公告)日:2017-11-29
申请号:JP2016509916
申请日:2014-12-25
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: H01L21/205 , B01J7/00 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481
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公开(公告)号:JP6237882B2
公开(公告)日:2017-11-29
申请号:JP2016509916
申请日:2014-12-25
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: H01L21/205 , B01J7/00 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481