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公开(公告)号：CN1246665C
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN02108710.5
申请日：2002-03-29
Applicant: 宾得株式会社
IPC: G01B11/26
CPC classification number: G01C1/02
Abstract: 一种测量机，它对一个光轴进行自动调节，包括：用于观察一个对象的一个观察光学系统；一个光传送光学系统，它把从一个光源发出的一个光束传送至所述对象；一个偏离探测器；以及，一个光轴调节器。该偏离探测器，它探测与所述观察光学系统对应的一个第一光轴和与所述光传送光学系统对应的一个第二光轴之间的一个偏离。该光轴调节器，它对所述第一光轴和所述第二光轴中的至少一个进行自动调节以对所述偏离进行校正。
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