公开(公告)号：CN117794669A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202280055740.8

申请日：2022-06-14

Applicant: 尼康SLM方案股份公司

Inventor： 简·卢卡斯·马缇斯克 ,  简·帕维丽塔 ,  卡斯顿·纽曼

IPC: B22F10/28 ,  B22F10/31 ,  B22F12/44 ,  B22F12/90 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  G01J1/02 ,  G01J1/42

Abstract: 提供一种用于对装置中的激光束的位置进行校准的方法，该装置包括用于引导激光束的至少一个光学单元。至少一个光学单元包括多个光学元件。该方法包括：对至少一个光学单元的多个光学元件设置第一光学配置，从而以第一焦斑尺寸将激光束引导到测量平面上；测量使用第一光学配置生成的激光束在测量平面内的第一位置；对至少一个光学单元的多个光学元件设置第二光学配置，从而以第二焦斑尺寸将激光束引导到测量平面上，第二焦斑尺寸不同于第一焦斑尺寸；测量使用第二光学配置生成的激光束在测量平面内的第二位置；以及基于所测量的第一位置和所测量的第二位置，确定至少一个校正值。