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发明公开
紫外线固化处理系统无效

公开(公告)号：CN105750176A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201510990231.6

申请日：2015-12-24

Applicant: 岩崎电气株式会社

Inventor： 荒山实 , 小幡一男 , 关根康人 , 新堂博美

IPC: B05D3/06

CPC classification number: B05D3/061 , B05D3/067

Abstract: 本发明的紫外线固化处理系统，能容易进行供给至净化箱的气氛气体的调整操作。薄膜涂覆系统(1)的特征在于，具备：紫外固化用装置(4)，其具有净化箱(16)和照射器(14)，降低氧浓度的气氛气体被导入至净化箱的内部，工件(2)经过该内部，照射器(14)对净化箱的内部的工件(2)照射紫外线；氮气流量调整盘(8)，其具备电-气调压阀(71)，电-气调压阀根据输入信号对气氛气体向净化箱(16)的排出压力进行控制，氮气流量调整盘通过调整排出压力来调整被导入至净化箱的气氛气体的流量；以及作为远程操作装置的操作装置(10)，其对氮气流量调整盘所具备的电-气调压阀进行远程操作。

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