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公开(公告)号：CN109668660B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201811314117.1
申请日：2018-11-06
Applicant: 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
Abstract: 本发明公开了一种水平微纳力值发生装置及生成方法，装置包括第一静电微纳力值发生装置、第二静电微纳力值发生装置、支撑结构和微纳力值输出端；方法包括：分别为支撑结构施加第一静电微纳力和第二静电微纳力，其中，第一静电微纳力与第二静电微纳力均沿水平方向，且第一静电微纳力的方向与第二静电微纳力的方向相反；支撑结构将所受的第一静电微纳力和第二静电微纳力的合力传递至微纳力值输出端；调整第一静电微纳力和第二静电微纳力的大小，输出标准的微纳力值。本发明利用了差减法的原理大幅降低了输入电源不稳定性和残余电容对输出的标准微纳力值的影响，精度高；同时能产生水平方向的微纳力值，适用性广。本发明可广泛应用于计量领域。
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公开(公告)号：CN111220309B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：CN202010226605.8
申请日：2020-03-27
Applicant: 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
Abstract: 本发明提供了一种用于微纳力测量的力源装置及其实现方法，所述装置包括上基板、下基板、微纳力源阵列、弹性支撑结构、以及输出所述微纳力源阵列产生的标准微纳力值的输出探针；所述上基板通过所述弹性支撑结构与所述下基板连接，所述微纳力源阵列布设于所述上基板与所述下基板之间；所述微纳力源阵列包括若干个阵列模块，每一所述阵列模块由一组叉指电容构成，每一组所述叉指电容设于所述上基板与所述下基板之间；且每一所述阵列模块分别与电源相连接。本发明通过改进传统电容式微纳力源装置的结构，能够实现在低电压下输出宽量程、高精度微纳力值的力源。
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公开(公告)号：CN109406047A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811358444.7
申请日：2018-11-15
Applicant: 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
IPC: G01L25/00
Abstract: 本发明公开了一种微小扭矩生成装置及其实现方法，装置包括标准微纳力值发生器、柔性铰链和输出端，实现方法包括：通过标准微纳力值发生器产生标准的微纳力；通过柔性铰链将标准的微纳力转化为纯力偶矩，得到标准的微小扭矩并通过输出端输出。本发明采用了柔性铰链和标准微纳力值发生器相结合的方式，通过柔性铰链将标准的微纳力转化为纯力偶矩，得到标准的微小扭矩，利用柔性铰链消除了传统的杠杆加砝码方法中砝码对于输出端的影响，同时消除了摩擦力、空气浮力、重力加速度、支撑点等因素的影响，误差小，准确、适用性广和可靠。本发明可广泛应用于计量领域。
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公开(公告)号：CN109668660A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811314117.1
申请日：2018-11-06
Applicant: 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
Abstract: 本发明公开了一种水平微纳力值发生装置及生成方法，装置包括第一静电微纳力值发生装置、第二静电微纳力值发生装置、支撑结构和微纳力值输出端；方法包括：分别为支撑结构施加第一静电微纳力和第二静电微纳力，其中，第一静电微纳力与第二静电微纳力均沿水平方向，且第一静电微纳力的方向与第二静电微纳力的方向相反；支撑结构将所受的第一静电微纳力和第二静电微纳力的合力传递至微纳力值输出端；调整第一静电微纳力和第二静电微纳力的大小，输出标准的微纳力值。本发明利用了差减法的原理大幅降低了输入电源不稳定性和残余电容对输出的标准微纳力值的影响，精度高；同时能产生水平方向的微纳力值，适用性广。本发明可广泛应用于计量领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107219026A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201710330425.2
申请日：2017-05-11
Applicant: 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
Abstract: 本发明公开了一种多方向微纳力测量装置及测量方法，装置包括加载机构、标准微纳力值发生装置、弹性支撑机构和位置测量装置，所述弹性支撑机构的末端与位置测量装置连接，所述标准微纳力值发生装置和加载机构分别安装在弹性支撑机构的两侧；方法包括：获取弹性支撑机构的平衡位置；通过加载机构为弹性支撑机构施加被测微纳力值，使弹性支撑机构偏离平衡位置；调整标准微纳力值发生装置的静电力大小，使得弹性支撑机构从偏离平衡位置恢复平衡位置；根据恢复平衡位置时标准微纳力值发生装置的静电力大小计算被测微纳力值。本发明与微纳力值的测量方向无关，能进行空间任意方向的微纳力测量，可广泛应用于力测量领域。
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公开(公告)号：CN111220309A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010226605.8
申请日：2020-03-27
Applicant: 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
Abstract: 本发明提供了一种用于微纳力测量的力源装置及其实现方法，所述装置包括上基板、下基板、微纳力源阵列、弹性支撑结构、以及输出所述微纳力源阵列产生的标准微纳力值的输出探针；所述上基板通过所述弹性支撑结构与所述下基板连接，所述微纳力源阵列布设于所述上基板与所述下基板之间；所述微纳力源阵列包括若干个阵列模块，每一所述阵列模块由一组叉指电容构成，每一组所述叉指电容设于所述上基板与所述下基板之间；且每一所述阵列模块分别与电源相连接。本发明通过改进传统电容式微纳力源装置的结构，能够实现在低电压下输出宽量程、高精度微纳力值的力源。
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公开(公告)号：CN209102247U
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201821823650.6
申请日：2018-11-06
Applicant: 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
Abstract: 本实用新型公开了一种水平微纳力值发生装置，包括第一静电微纳力值发生装置、第二静电微纳力值发生装置、支撑结构和微纳力值输出端，所述支撑结构的末端与微纳力值输出端连接，所述第一静电微纳力值发生装置和第二静电微纳力值发生装置分别安装在支撑结构的两侧。本实用新型只需调整第一静电微纳力值发生装置和第二静电微纳力值发生装置所施加的两个力的相对大小，即可通过微纳力值输出端输出标准的水平方向微纳力值，利用了差减法的原理大幅降低了输入电源不稳定性和残余电容对输出的标准微纳力值的影响，精度高；同时能产生水平方向的微纳力值，也满足了人们对水平方向微纳力值的溯源或测量要求，适用性广。本实用新型可广泛应用于计量领域。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209117252U
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201821886176.1
申请日：2018-11-15
Applicant: 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
IPC: G01L25/00
Abstract: 本实用新型公开了一种微小扭矩生成装置，包括标准微纳力值发生器、柔性铰链和输出端，所述柔性铰链与标准微纳力值发生器连接，所述输出端位于柔性铰链的中心处。本实用新型采用了柔性铰链和标准微纳力值发生器相结合的结构，通过柔性铰链将标准的微纳力转化为纯力偶矩，得到标准的微小扭矩，利用柔性铰链消除了传统的杠杆加砝码方法中砝码对于输出端的影响，同时消除了摩擦力、空气浮力、重力加速度、支撑点等因素的影响，误差小，准确、适用性广和可靠。本实用新型可广泛应用于计量领域。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206891615U
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201720524588.X
申请日：2017-05-11
Applicant: 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
Abstract: 本实用新型公开了一种多方向微纳力测量装置，包括加载机构、标准微纳力值发生装置、弹性支撑机构和位置测量装置，所述弹性支撑机构的末端与位置测量装置连接，所述标准微纳力值发生装置和加载机构分别安装在弹性支撑机构的两侧。本实用新型包括加载机构、标准微纳力值发生装置、弹性支撑机构和位置测量装置，基于弹性支撑机构上的标准微纳力值与被测微纳力值相平衡原理测量出外界施加的微纳力值，与微纳力值的测量方向无关，能进行空间任意方向的微纳力测量，克服了现有技术不能进行非竖直方向微纳力值测量的缺陷，满足了人们对空间非竖直方向微纳量级力值测量的高要求。本实用新型可广泛应用于力测量领域。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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