公开(公告)号：CN103364082B

公开(公告)日：2017-10-27

申请号：CN201210289479.6

申请日：2012-08-14

Applicant: 应用材料以色列公司

Inventor： M·海菲茨 ,  P·玛古利斯

IPC: G01J1/44 ,  H01J43/04

CPC classification number: G01J1/44 ,  G01J2001/4453 ,  H01J43/20

Abstract: 提供了一种光电探测器和用于操作所述光电探测器的方法。所述光电探测器包含光电倍增管，所述光电倍增管包含多个电极，所述多个电极中的每一电极包含光电阴极、阳极、第一倍增电极、多个中间倍增电极及最后倍增电极；以及偏压电路，所述偏压电路包含一序列的电压跟随器元件、分压器及电流源。所述分压器跨高压电源而耦合，并且不同的倍增电极耦合至所述电压跟随器元件中的不同电压跟随器元件，所述电压跟随器元件的控制输入端耦合至所述分压器的不同接合处。所述电流源耦合至所述分压器、所述一序列的电压跟随器元件、以及所述阴极。所述阳极耦合至负载元件，所述负载元件耦合至所述高压电源的正极，并且设置为接收所述阳极的输出信号并将所述输出信号转换为所述光电探测器装置的输出信号。

公开(公告)号：CN103364082A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201210289479.6

申请日：2012-08-14

Applicant: 应用材料以色列公司

Inventor： M·海菲茨 ,  P·玛古利斯

IPC: G01J1/44 ,  H01J43/04

CPC classification number: G01J1/44 ,  G01J2001/4453 ,  H01J43/20

Abstract: 提供了一种光电探测器和用于操作所述光电探测器的方法。所述光电探测器包含光电倍增管，所述光电倍增管包含多个电极，所述多个电极中的每一电极包含光电阴极、阳极、第一倍增电极、多个中间倍增电极及最后倍增电极；以及偏压电路，所述偏压电路包含一序列的电压跟随器元件、分压器及电流源。所述分压器跨高压电源而耦合，并且不同的倍增电极耦合至所述电压跟随器元件中的不同电压跟随器元件，所述电压跟随器元件的控制输入端耦合至所述分压器的不同接合处。所述电流源耦合至所述分压器、所述一序列的电压跟随器元件、以及所述阴极。所述阳极耦合至负载元件，所述负载元件耦合至所述高压电源的正极，并且设置为接收所述阳极的输出信号并将所述输出信号转换为所述光电探测器装置的输出信号。