公开(公告)号：CN118872022A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202280091475.9

申请日：2022-02-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 尼古拉·克努布 ,  孟林 ,  罗伯特·特劳纳 ,  伯恩哈德·舒勒 ,  库普雷特·辛格·维迪 ,  伯纳德·G·穆勒

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  G06T7/55

Abstract: 描述了一种基板的在线检查方法。该方法包括：在基板的第一表面部分之上扫描初级电子束(105)，该基板是具有晶粒结构，特别是LTPS结构的大面积基板；在第一表面部分之上扫描该初级电子束(105)期间利用分段的二次电子检测器(130)的第一检测器区段(231)及第二检测器区段(232)检测二次电子信号，其中该第一检测器区段(231)提供第一强度数据(IE(x,y))并且该第二检测器区段(232)提供第二强度数据(IW(x,y))；基于第一强度数据(IE(x,y))与第二强度数据(IW(x,y))之间的差异计算基板(10)的在x方向上的表面陡度；以及基于在x方向上的表面陡度确定该第一表面部分的形貌(T)。进一步提供了一种被配置为执行此种方法的扫描电子显微镜。