公开(公告)号：CN118103546A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202280070043.X

申请日：2022-10-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 布赖恩·海斯·伯罗斯 ,  塞卡尔·克里希纳萨米 ,  阿亚纳古达·拉拉维 ,  莫妮卡·穆达尔卡 ,  戈文德拉·德赛 ,  希曼塔·库马尔·拉朱 ,  巴萨瓦拉吉·帕坦谢蒂 ,  戴维·马萨尤基·石川 ,  维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 ,  施里坎特·斯瓦米纳坦 ,  马里奥·坎布朗 ,  罗伯特·纳瓦斯卡 ,  王苗君 ,  乔纳森·弗兰克尔

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  B01J19/00 ,  B01J3/02 ,  B01J4/00

Abstract: 一种用于涂覆颗粒的反应器，所述反应器包括可旋转反应器组件，所述可旋转反应器组件包括滚筒、入口管和出口管、静态气体入口管线、静态气体出口管线和马达，所述滚筒被配置成保持多个待涂覆颗粒，所述静态气体入口管线通过旋转入口密封件耦接至入口管，所述静态气体出口管线通过旋转出口密封件耦接至出口管，所述马达用于旋转可旋转反应器组件。