公开(公告)号：CN107924048B

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201680046458.8

申请日：2016-06-13

Applicant: 徕卡显微系统复合显微镜有限公司

Inventor： H·古杰尔 ,  F·诺伊加特 ,  I·波姆

IPC: G02B21/00 ,  G02B5/28

Abstract: 本发明涉及一种扫描显微镜(20)，包括：设置在照射光路(26)中的物镜(48)，用于使照射光束(24)聚焦到样品(52)上；在照射光路(26)中设置在物镜(48)上游的扫描单元(38)，用于使照射光束(24)偏转，使得通过物镜(48)聚焦的照射光束(24)在样品(52)上实施扫描运动；和设置在检测光路(66)中的检测单元(58)，用于接收未通过扫描单元偏转的检测光束(54)。检测单元为了影响检测光束(54)的光谱而包含至少一个光谱选择构件(10)，该构件具有带有光谱边缘的作用面(12)，该作用面随着检测光束(54)在作用面(12)上的入射位置而变化。所述光谱选择构件(10)的作用面(12)在检测光路(66)中设置在物镜光瞳(50)的成像的位置处，或者倾斜于所述检测光路的光轴设置。

公开(公告)号：CN107924048A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680046458.8

申请日：2016-06-13

Applicant: 徕卡显微系统复合显微镜有限公司

Inventor： H·古杰尔 ,  F·诺伊加特 ,  I·波姆

IPC: G02B21/00 ,  G02B5/28

CPC classification number: G02B21/0064 ,  G02B5/28 ,  G02B21/0076

Abstract: 本发明涉及一种扫描显微镜(20)，其包括：设置在照射光路(26)中的物镜(48)，该物镜用于使照射光束(24)聚焦到样品(52)上；在照射光路(26)中设置在物镜(48)上游的扫描单元(38)，用于使照射光束(24)偏转，使得通过物镜(48)聚焦的照射光束(24)在样品(52)上实施扫描运动；和设置在检测光路(66)中的检测单元(58)，该检测单元用于接收未通过扫描单元偏转的检测光束(54)。检测单元为了影响检测光束(54)的光谱而包含至少一个光谱选择构件(10)，该构件具有带有光谱边缘的作用面(12)，该作用面随着检测光束(54)在作用面(12)上的入射位置而变化。所述光谱选择构件(10)的作用面(12)在检测光路(66)中设置在物镜光瞳(50)的成像的位置处。替代地，作用面(12)设置在如下位置处，在该位置处因照射光束(24)的扫描运动而出现的检测光束(54)入射到作用面(12)上的入射角的变化所导致的作用面的光谱边缘的变化，至少部分地由检测光束(54)入射到作用面(12)上的位置的变化引起的作用面(12)的光谱边缘的相反变化补偿。