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公开(公告)号：CN103105382A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201210447353.7
申请日：2012-11-09
Applicant: 徕卡显微系统复合显微镜有限公司
Inventor： J·弗林
CPC classification number: H04N13/257 , G01N21/6458 , G01N2021/6421 , G02B21/16 , G02B21/367 , G02B27/0075 , G02B27/58
Abstract: 用于对样本中点状目标实现三维定位的显微装置，包括探测光学系统，以三维聚焦光分布的形式将布置在物空间的点状目标成像至像空间；分色装置，将光分成至少两个独立的光束，其波长落入不同的波长区域；至少两个探测单元，布置在像空间中，其中的一个接收两个光束中的一个，而另一个接收两个光束中的另一个，每个探测单元都包括布置与各光束的入射方向垂直的探测表面，用于感测光斑；评价单元，通过评价在探测表面上感测的光斑，确定在相关点状目标的横向X-Y位置，以及相关点状目标在垂直于清晰度平面的光轴方向上相对于清晰度平面的轴向Z位置；用于两个波长区域中的至少一个区域的至少一个Z位置校正值，存储在评价单元中，校正值表示了探测光学系统在该波长区域上的纵向色差；以及评价单元使用相关Z位置校正值来校正在各波长区域上确定的Z位置。
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公开(公告)号：CN103105382B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201210447353.7
申请日：2012-11-09
Applicant: 徕卡显微系统复合显微镜有限公司
Inventor： J·弗林
CPC classification number: H04N13/257 , G01N21/6458 , G01N2021/6421 , G02B21/16 , G02B21/367 , G02B27/0075 , G02B27/58
Abstract: 用于对样本中点状目标实现三维定位的显微装置，包括探测光学系统，以三维聚焦光分布的形式将布置在物空间的点状目标成像至像空间；分色装置，将光分成至少两个独立的光束，其波长落入不同的波长区域；至少两个探测单元，布置在像空间中，其中的一个接收两个光束中的一个，而另一个接收两个光束中的另一个，每个探测单元都包括布置与各光束的入射方向垂直的探测表面，用于感测光斑；评价单元，通过评价在探测表面上感测的光斑，确定在相关点状目标的横向X‑Y位置，以及相关点状目标在垂直于清晰度平面的光轴方向上相对于清晰度平面的轴向Z位置；用于两个波长区域中的至少一个区域的至少一个Z位置校正值，存储在评价单元中，校正值表示了探测光学系统在该波长区域上的纵向色差；以及评价单元使用相关Z位置校正值来校正在各波长区域上确定的Z位置。
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