公开(公告)号：CN102362330B

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201080012592.9

申请日：2010-03-18

Applicant: 德尔福芒斯公司

Inventor： K·塞古尼 ,  N·罗尔菲林

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/018

Abstract: 一种MEMS结构包括：柔性膜(6)，具有限定纵向(X)的主纵轴(5a)；至少一个支柱(3、3’)，位于柔性膜(6)下面；电降低致动装置(7)，适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态；电升高致动装置(8)，适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态。电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。

公开(公告)号：CN102362330A

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：CN201080012592.9

申请日：2010-03-18

Applicant: 德尔福芒斯公司

Inventor： K·塞古尼 ,  N·罗尔菲林

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/018

Abstract: 一种MEMS结构包括：柔性膜(6)，具有限定纵向(X)的主纵轴(5a)；至少一个支柱(3、3’)，位于柔性膜(6)下面；电降低致动装置(7)，适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态；电升高致动装置(8)，适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态。电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。