公开(公告)号：CN104769701A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201380051543.X

申请日：2013-08-07

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： D·K·奈托 ,  A·科瑞尔 ,  M·W·麦克费伦 ,  S·杰克逊 ,  J·罗比森

IPC: H01L21/02

CPC classification number: B65D25/14 ,  B01J4/00 ,  B01J19/02 ,  B01J2219/0245 ,  B65D25/38 ,  B65D43/02 ,  B65D85/70 ,  H01L21/67023

Abstract: 一种用于分配超高纯度的化学试剂的供给器皿，包括限定了能封闭的内部容积的金属容器，所述金属容器包括内部表面结构，其中所述内部表面结构被涂覆有超高纯度的有效聚全氟烷氧基乙烯涂层。这样的供给器皿例如可被利用于储存超高纯度的化学试剂，并且用于将超高纯度的化学试剂分配至半导体制造工具或用于制造平板显示器或太阳能板的工具。

公开(公告)号：CN104769701B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201380051543.X

申请日：2013-08-07

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： D·K·奈托 ,  A·科瑞尔 ,  M·W·麦克费伦 ,  S·杰克逊 ,  J·罗比森

IPC: H01L21/02

CPC classification number: B65D25/14 ,  B01J4/00 ,  B01J19/02 ,  B01J2219/0245 ,  B65D25/38 ,  B65D43/02 ,  B65D85/70 ,  H01L21/67023

Abstract: 一种用于分配超高纯度的化学试剂的供给器皿，包括限定了能封闭的内部容积的金属容器，所述金属容器包括内部表面结构，其中所述内部表面结构被涂覆有超高纯度的有效聚全氟烷氧基乙烯涂层。这样的供给器皿例如可被利用于储存超高纯度的化学试剂，并且用于将超高纯度的化学试剂分配至半导体制造工具或用于制造平板显示器或太阳能板的工具。