公开(公告)号：CN110964353A

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201911311443.1

申请日：2019-12-18

Applicant: 拓普纳诺斯株式会社

Inventor： 吴尚根 ,  金斗钟 ,  郑多情

IPC: C09D1/00 ,  C09D133/04 ,  C09D175/04 ,  C09D171/12 ,  C09D5/24 ,  H01L21/683 ,  B05D5/00 ,  B05D5/12 ,  B05D7/24 ,  B05D1/36

Abstract: 本发明提供损伤的载物台的修复用溶液组合物、损伤的载物台的修复方法及损伤的载物台的抗静电涂布方法，本发明的溶液组合物包含：含有选自醇、甲苯、甲基乙基酮、环己酮中的至少一种的溶剂；具有1nm～500nm的尺寸且含有选自碳黑、科琴黑、乙炔黑、富勒烯、石墨烯和碳纳米管中的至少一种的黑色颜料；分散剂；以及有机系粘合剂和无机系粘合剂混合而成的有机无机混合粘合剂，上述有机系粘合剂为选自多官能性丙烯酸类树脂、多官能性氨基甲酸酯树脂和苯氧系树脂中的至少一种，上述无机系粘合剂为选自氧化铝溶胶、硅溶胶和二氧化钛溶胶中的至少一种。根据本发明，提供低价修复半导体、显示器制作设备的载物台的方法。