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公开(公告)号：CN101461284A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200680054966.7
申请日：2006-11-06
Applicant: 斗山MECATEC株式会社
IPC: H05B33/10
CPC classification number: C23C14/042
Abstract: 本说明书公开了一种用于对准衬底的装置和方法。该装置包括：基准板，其具有形成于下表面的边缘的台阶；夹具，其能够贯穿基准板的该边缘升高和降低并具有弯曲的下端，以允许将衬底装载在其上；用于支持框架的掩模框架支持器，该框架具有连接到其上的金属掩模；对准板，其连接到掩模框架支持器并且能够升高和降低；以及精密对准机构，其用于精密地将衬底和金属掩模相互对准。可以将衬底的下垂量减少到常规装置的下垂量的1/5或更少的水平。该装置进一步包括穿过基准板的磁体，从而允许衬底和金属掩模相互形成紧密接触。
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