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公开(公告)号:CN114341604A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202080061883.0
申请日:2020-07-16
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 各方面涉及用于增加光谱仪的视场的机构。光学设备可以被配置为同时将来自样品上的不同位置(斑点)的光耦合到光谱仪,以有效地增加光谱仪的视场。光学设备可以包括合束器和至少一个反射器,该至少一个反射器用以将光束从样品上的相应斑点反射到合束器。合束器可以合并从不同斑点接收的光束,以产生可以输入到光谱仪的合并光束。