公开(公告)号：CN1357403A

公开(公告)日：2002-07-10

申请号：CN01130322.0

申请日：2001-10-03

Applicant: 新田株式会社

Inventor： 东野伸幸 ,  山本宗弘 ,  住冈将行 ,  荒牧大

IPC: B01D53/04 ,  B01D24/04

CPC classification number: B01D53/0415 ,  B01D2253/102 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/40084 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

Abstract: 一种化学过滤器包括单元体和装在所述单元体中的吸附剂。所述吸附利用于吸附气体。采用这种化学过滤器,可以提供一种净化气体,其中氨和具有150℃或更高沸点的一种有机气体的浓度分别为1ppb(v)或更少。这种净化气体被用于半导体制造系统,而不引起麻烦。