公开(公告)号：CN1078108C

公开(公告)日：2002-01-23

申请号：CN94102023.1

申请日：1994-03-02

Applicant: 施蒂格哈马技术股份公司

Inventor： E·穆尔弗里德 ,  A·库贝比克 ,  T·杰里什 ,  K·阿皮希 ,  J·施策克里什 ,  M·卡里斯

IPC: B05C5/02

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05C5/0254 ,  B05C9/02 ,  B05C9/12 ,  B05C11/105 ,  B05D1/26 ,  C23C2/006

Abstract: 在一个通过一个充装着涂布介质的毛细间隙(24)来对板件(17)或圆盘进行涂漆或涂膜的装置中，板件(17)以其待涂漆表面朝下地通过毛细间隙(24)，从而通过毛细作用在板件(17)上积附一层薄的涂层。