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公开(公告)号：CN117672918B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202311679032.4
申请日：2023-12-07
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明实施例公开了一种晶圆位置监测调度装置、系统和方法。晶圆位置监测调度装置包括：至少两个装载口；前端装载模块，用于通过装载口装载晶圆；至少两个监测调度模块，监测调度模块与装载口一一对应，监测调度模块与对应的装载口并口连接，监测调度模块用于对装载口进行监测并生成监测调度信号；主控制器，与监测调度模块、前端装载模块通信连接，主控制器用于根据监测调度信号控制前端装载模块的工作状态，以实现同时通过至少两个装载口对晶圆进行装载调度。本发明实施例提供的晶圆位置监测调度装置、系统和方法，能够提高装载调度可靠性。
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公开(公告)号：CN118118029A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410304070.X
申请日：2024-03-18
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种预对准机的传感器信号转换装置。该装置包括：信号输出模块、信号转换模块及解析模块；所述信号输出模块，用于输出预对准机的传感器信号至所述信号转换模块；所述信号转换模块，用于将所述传感器信号转换为传感器转换信号，并输出至所述解析模块；所述解析模块，用于解析所述传感器转换信号。本方案实现了传感器的信号高速转换，以提高现场解析模块的适配度，保证现场解析模块的稳定运行。
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公开(公告)号：CN116825668B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202310732225.5
申请日：2023-06-19
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明涉及一种适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法及装置，其包括：将一8寸晶圆OPEN装载用的OPEN装载Cassette料盒装配在所述装载传输装置的机台上；基于构建的扫描检测坐标刻度映射关系，将8寸晶圆上表面扫描检测坐标刻度值、8寸晶圆下表面扫描检测坐标刻度值分别映射生成12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值，并将映射生成的12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值加载至装载传输装置内的装载传输处理器内。本发明可基于12寸晶圆FOUP装载传输下实现8寸晶圆OPEN装载传输的扫描检测映射，满足8寸晶圆装载传输的需求，提高产品的利用率。
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公开(公告)号：CN118118029B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202410304070.X
申请日：2024-03-18
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种预对准机的传感器信号转换装置。该装置包括：信号输出模块、信号转换模块及解析模块；所述信号输出模块，用于输出预对准机的传感器信号至所述信号转换模块；所述信号转换模块，用于将所述传感器信号转换为传感器转换信号，并输出至所述解析模块；所述解析模块，用于解析所述传感器转换信号。本方案实现了传感器的信号高速转换，以提高现场解析模块的适配度，保证现场解析模块的稳定运行。
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公开(公告)号：CN119224641A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411391049.4
申请日：2024-10-08
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电子枪线束的断裂检测方法、装置及系统，断裂检测方法包括：调节施加至电子枪线束的测试电流；获取电子枪线束的实际电流；根据测试电流和实际电流确定电子枪线束的断裂程度。本发明提供的电子枪线束的断裂检测方法通过对线束电流的检测和分析便能实现对电子枪线束的断裂程度的判断，不仅成本低、操作方便、还不会损伤线束，可以保障工作人员的安全。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118800709B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411288539.1
申请日：2024-09-14
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
IPC: H01L21/68 , B24B37/005
Abstract: 本发明公开一种预定位装置的改造方法、改造装置及电子设备，预定位装置包括光源、图像传感器和硅光传感器，该方法包括：对光源进行供电电压和光源位置调整，并对图像传感器的数值化阈值进行调整；基于图像传感器的光分布信号识别晶圆状态；晶圆状态包括无晶圆状态、透明晶圆状态和非透明晶圆状态；根据晶圆状态调整光强信号通路；其中，光强信号通路包括采样信号输出通路和仿真信号输出通路。本发明通过识别晶圆状态，调整预定位装置的配置参数，并对应切换采样信号输出通路和仿真信号输出通路，使预定位装置能够兼容不同类型晶圆的使用场景，改造方案简单，成本低，提高设备的使用价值和市场价值。
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公开(公告)号：CN117497469A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202410001456.3
申请日：2024-01-02
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种多尺寸的晶圆传输装置、方法及电子设备。其中，每个装载台定义有识别信息，运输模块根据抓取指令抓取目标装载台上的晶圆，并将晶圆放置在晶圆定位模块；运输模块抓取目标装载台上的晶圆后，控制模块根据装载台对应的识别信息将运输模块的标识设置为第一标识；控制模块运输模块将晶圆放置在晶圆定位模块后，将运输模块的第一标识变更为第二标识；控制模块还根据第二标识确定执行参数，其中，识别信息与执行参数具有映射关系；晶圆定位模块根据执行参数对晶圆进行定位。实现了对非原始尺寸的晶圆定位及区分，无需更换设备，满足定制化量测求。
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公开(公告)号：CN119361403A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411443073.8
申请日：2024-10-16
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/067 , H01J37/28 , H01J9/42 , H01J9/18
Abstract: 本发明公开了一种电子枪的预检系统及预检方法，预检系统包括偏转镜筒、测量镜筒和控制模块；测量镜筒位于偏转镜筒的正下方，二者分别与控制模块电连接；预检时，待检测电子枪镜筒安装于偏转镜筒的正上方，控制模块与电子枪镜筒电连接；控制模块用于控制电子枪发射电子束，以及用于通过偏转镜筒控制电子束在第一方向和第二方向上偏转，以使电子束对第一扫描范围进行逐点扫描；测量筒镜中的电子束收集装置用于采集每个扫描点对应的电流值，控制模块还用于基于该电流值生成灰度图像，并根据灰度图像中亮斑的位置调整电子枪的位置，直至亮斑的中心与图像中心重合。本申请可以提高电镜设备的维修效率，降低维修难度，减少停机时间。
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公开(公告)号：CN117665636B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202311673838.2
申请日：2023-12-07
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高压电源的检测装置，包括测量母板和至少一个高压测量板；测量母板包括第一接口、多个第二接口和多个测量端子；第二接口与测量端子一一对应电连接；高压测量板包括电源接口、高压输入接口、测量输出接口、高压纹波检测模块、高压电压检测模块和高压负载电流检测模块；各高压测量板的电源接口均与第一接口电连接；测量母板的第二接口与测量输出接口一一对应电连接；高压纹波检测模块、高压电压检测模块和高压负载电流检测模块的输入端均与高压输入接口电连接，高压纹波检测模块、高压电压检测模块和高压负载电流检测模块的输出端分别与不同的测量输出接口一一对应电连接。该方案可快速进行高压检测，使用简单，携带方便且成本低。
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公开(公告)号：CN117672918A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311679032.4
申请日：2023-12-07
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明实施例公开了一种晶圆位置监测调度装置、系统和方法。晶圆位置监测调度装置包括：至少两个装载口；前端装载模块，用于通过装载口装载晶圆；至少两个监测调度模块，监测调度模块与装载口一一对应，监测调度模块与对应的装载口并口连接，监测调度模块用于对装载口进行监测并生成监测调度信号；主控制器，与监测调度模块、前端装载模块通信连接，主控制器用于根据监测调度信号控制前端装载模块的工作状态，以实现同时通过至少两个装载口对晶圆进行装载调度。本发明实施例提供的晶圆位置监测调度装置、系统和方法，能够提高装载调度可靠性。
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