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公开(公告)号：CN114341232A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080062139.2
申请日：2020-09-02
Applicant: 日产化学株式会社
Inventor： 大矢拓未
Abstract: 本发明的目的是提供一种通过用具有特定结构的离子交换树脂来处理含金属杂质的被处理含硅聚合物组合物，可以在抑制处理前后的重均分子量变化(ΔMw)的同时，还能够降低金属杂质的含硅聚合物组合物的精制方法、及含硅聚合物组合物、半导体装置的制造方法。本发明是一种处理前后的重均分子量变化(ΔMw)被降低的含硅聚合物组合物的精制方法，其特征在于，用凝胶型阳离子交换树脂处理含有有机溶剂的被处理含硅聚合物组合物。处理前后的重均分子量变化(ΔMw)为70以下。上述离子交换树脂优选具有强酸性的官能团。上述离子交换处理后24种金属元素的合计残留量为1ppb以下。
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公开(公告)号：CN114341232B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202080062139.2
申请日：2020-09-02
Applicant: 日产化学株式会社
Inventor： 大矢拓未
Abstract: 本发明的目的是提供一种通过用具有特定结构的离子交换树脂来处理含金属杂质的被处理含硅聚合物组合物，可以在抑制处理前后的重均分子量变化(ΔMw)的同时，还能够降低金属杂质的含硅聚合物组合物的精制方法、及含硅聚合物组合物、半导体装置的制造方法。本发明是一种处理前后的重均分子量变化(ΔMw)被降低的含硅聚合物组合物的精制方法，其特征在于，用凝胶型阳离子交换树脂处理含有有机溶剂的被处理含硅聚合物组合物。处理前后的重均分子量变化(ΔMw)为70以下。上述离子交换树脂优选具有强酸性的官能团。上述离子交换处理后24种金属元素的合计残留量为1ppb以下。
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