探针座和探针单元
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117405930A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202310857376.3

    申请日:2023-07-13

    Abstract: 本发明的探针座保持分别在长度方向上的两端部与接触对象的电极接触的接触探针,具备:第一层叠部件,其由多个部件层叠而成;以及第二层叠部件,其由多个部件层叠而成,并与第一层叠部件接合,第一层叠部件和第二层叠部件分别具有:第一部件,其由介电常数低的材料构成;第二部件,其设置在第一部件的一个表面上,并具有比该第一部件高的硬质性;以及第三部件,其设置在第一部件的另一个表面上,并具有比该第一部件高的硬质性,探针座将第一层叠部件及第二层叠部件的第三部件彼此接合而成,形成有保持孔,其在第一层叠部件和第二层叠部件的层叠方向上贯穿,并第二部件侧呈直径缩小的带台阶孔状。该探针座能够抑制在高频时的损耗增大。

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