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公开(公告)号：CN114127905B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202080051682.2
申请日：2020-07-06
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置为与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第二绝缘体，其与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触；以及，盖状部件，其覆盖第一绝缘部件的一部分，经由第二绝缘体而与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触，并与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分平行。
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公开(公告)号：CN114097068A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202080049779.X
申请日：2020-07-28
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687 , C23C14/04 , C23C14/24 , C23C14/34 , C23C14/50 , C23C14/54 , C23C16/18 , C23C16/20 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46 , C23C16/511 , C23C16/52
Abstract: 载物台包括：轴；轴上的第一支撑板；加热器，其配置于第一支撑板内所形成的槽内；以及气体供应管，其配置在轴内且构成为向第一支撑板吹送气体。第一支撑板可以具有圆盘形状，平行于第一支撑板表面的气体供应管的截面可以与圆盘形状的中心重叠。第一支撑板可以构成为阻挡所述气体并且将所述气体不排放到载物台所配置的腔室内。
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公开(公告)号：CN114207397A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202080053712.3
申请日：2020-07-27
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 温度传感器包括：块体；第一热电偶，其包括第一线部件、第二线部件、围绕第一线部件及第二线部件的第一绝缘体以及围绕第一绝缘体的第一金属护套；第二热电偶，其包括第三线部件、第四线部件、围绕第三线部件及第四线部件的第二绝缘体以及围绕第二绝缘体的第二金属护套，第一热电偶和第二热电偶中每一个热电偶的端部埋设在块体中。第一线部件及第二线部件中各自的端部可与第一金属护套相接，第三线部件及第四线部件中各自的端部可与第二金属护套相接。
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公开(公告)号：CN114127905A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202080051682.2
申请日：2020-07-06
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置为与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第二绝缘体，其与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触；以及，盖状部件，其覆盖第一绝缘部件的一部分，经由第二绝缘体而与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触，并与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分平行。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119452728A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202380049871.X
申请日：2023-04-26
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H05B3/48
Abstract: 护套加热器包括：金属护套；加热线，其配置在护套内；绝缘材料，其填充在护套中以使金属护套与加热线分离；引线，其向加热线供电；压接套筒，其用于连接从金属护套的端部延伸出来的加热线和引线；筒状构件，其覆盖金属护套的端部并配置有压接套筒；以及盖状构件与筒状构件嵌合并包括供引线插入的开口，金属护套的端部包括：第一绝缘管，其包括供加热线插入的第一贯通孔；以及密封材料，其用于填充金属护套与第一绝缘管之间的间隙，密封材料包括陶瓷粘合剂。
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公开(公告)号：CN117158115A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202280018005.X
申请日：2022-02-09
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H05B3/48
Abstract: 本发明提供一种提高了可靠性的护套加热器。或者，提供一种具有提高了可靠性的护套加热器的基板支撑装置。本发明的护套加热器具有第一金属线、与第一金属线的第一端部连接的第一端子、与第一端子连接并与第二金属线连接的第一导电柔性部件、与第一金属线的第二端部连接的第二端子、以及与第二端子连接并与第三金属线连接的第二导电柔性部件，第一导电柔性部件与第二导电柔性部件邻接布置。
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公开(公告)号：CN116075922A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202180053924.6
申请日：2021-08-06
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/3065
Abstract: 载物台包括：基材，其具有包括从上部面凹陷的第一面和从侧面凹陷的第二面的台阶；以及绝缘膜，其包括设置在第一面上的多个第一层和设置在第二面上的多个第二层，在台阶处，第一层的第一端部和第二层的第二端部交替层叠。第一面与第二面可以通过隅部连接，在隅部上可以交替层叠第一端部和第二端部。第一面和第二面可以通过隅部连接，在隅部上可以形成由第一端部和第二端部交替层叠而成的绝缘膜。
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公开(公告)号：CN118251757A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202280075827.1
申请日：2022-12-02
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/683 , B32B9/04 , B32B15/04 , B32B15/20 , C23C14/50 , H01L21/205 , H01L21/31
Abstract: 本发明的层叠结构体是适用于半导体制造装置的层叠结构体，其包括含有铝并具有第一面的基体、配置于基体的第一面的含有氧化铝的中间层、以及配置在中间层上的含有金属原子的覆盖层。中间层具有在与第一面平行的截面形状中形成多个空隙的分隔壁。中间层具有覆盖基体的第一面的边界层。覆盖层配置在中间层中的多个空隙的一部分。多个空隙包含与边界层相邻并与覆盖层分离的空隙。
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