公开(公告)号：CN110534390B

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN201910435670.9

申请日：2019-05-23

Applicant: 日本电子株式会社

Inventor： 植松文徳

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 一种带电粒子束装置和机器学习方法，其中，图像转换部(28)包含选择器(30)和多个图像转换器(32‑1、…、32‑n)。各图像转换器由机械学习型的推定器构成，根据在第1观察条件下取得的图像，推定在第2观察条件下可能会取得的图像作为参考图像。当从显示于显示器(36)的多个参考图像之中选择了特定的参考图像时，与其对应的第2观察条件作为接下来的观察条件被设定在观察机构(10)中。

公开(公告)号：CN110534390A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201910435670.9

申请日：2019-05-23

Applicant: 日本电子株式会社

Inventor： 植松文徳

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 一种带电粒子束装置和机器学习方法，其中，图像转换部(28)包含选择器(30)和多个图像转换器(32-1、…、32-n)。各图像转换器由机械学习型的推定器构成，根据在第1观察条件下取得的图像，推定在第2观察条件下可能会取得的图像作为参考图像。当从显示于显示器(36)的多个参考图像之中选择了特定的参考图像时，与其对应的第2观察条件作为接下来的观察条件被设定在观察机构(10)中。