公开(公告)号：CN1213160A

公开(公告)日：1999-04-07

申请号：CN98120064.8

申请日：1998-09-29

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 川口真辉 ,  藤井威男

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/28 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L27/10855 ,  H01L21/76816 ,  H01L21/76831 ,  H01L21/76897 ,  H01L23/485 ,  H01L27/10814 ,  H01L28/40 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 为了在由设计规则中限定的最小长度隔开的位线(23)之间的层间绝缘结构(22/24)内形成节点接触孔(27),首先初始节点接触孔(25)以长度大于最小长度的方式在位线之间的层间绝缘结构内形成,绝缘侧壁间隔层(26)形成在限定初始节点接触孔的内表面上,以便形成长度小于最小长度的节点接触孔,由此形成相当窄的节点接触孔,并且位线和存储节点电极(28)之间不会短路。