-
公开(公告)号：CN105074430A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201480017517.X
申请日：2014-03-19
Applicant: 日本电气株式会社
IPC: G01N21/3581
CPC classification number: G01N21/94 , G01N21/8806 , G01N33/02 , G01N2201/061 , G01N2201/066 , G01N2201/068
Abstract: 本发明提供了一种能够在高相干电磁波的波束被放大到规定的照射区域并且用于通过在比照射区域更窄的运动范围内移动规定的照射区域来照明的状态中减少对干涉图案的生成的成像系统。
Search Results
1
records
(took 0.038 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
