公开(公告)号：CN114390733A

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN202110742499.3

申请日：2021-07-01

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 竹林央史 ,  伊藤丈予 ,  井上大辅

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/03 ,  H05B3/06 ,  H05B3/20

Abstract: 本发明提供一种能够容易地进行温度特异部周边的均热设计的陶瓷加热器。本发明的静电卡盘加热器(10)在陶瓷制的板(12)中埋设有加热器电极(16)。在静电卡盘加热器(10)中，加热器电极(16)中的包围板(12)的温度变低的温度特异部(T1、T2)的特异部周边部分(S1、S2)与加热器电极(16)中的通常部分(N)相比，厚度形成得薄。

公开(公告)号：CN114390733B

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202110742499.3

申请日：2021-07-01

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 竹林央史 ,  伊藤丈予 ,  井上大辅

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/03 ,  H05B3/06 ,  H05B3/20

Abstract: 本发明提供一种能够容易地进行温度特异部周边的均热设计的陶瓷加热器。本发明的静电卡盘加热器(10)在陶瓷制的板(12)中埋设有加热器电极(16)。在静电卡盘加热器(10)中，加热器电极(16)中的包围板(12)的温度变低的温度特异部(T1、T2)的特异部周边部分(S1、S2)与加热器电极(16)中的通常部分(N)相比，厚度形成得薄。