III族元素窒化物半導体基板

    公开(公告)号:JP6978641B1

    公开(公告)日:2021-12-08

    申请号:JP2021551577

    申请日:2021-04-20

    Abstract: 第一面と第二面とを備えるIII族元素窒化物半導体基板であって、目視による第一面と第二面の区別が容易であり、光学センサーによる端部の検出がしやすく、有効面積(デバイス作製に使用できる面積)を大きく確保でき、基板全体の反りが低減される、III族元素窒化物半導体基板を提供する。 本発明の実施形態によるIII族元素窒化物半導体基板は、第一面と第二面とを備えるIII族元素窒化物半導体基板であって、該第一面が鏡面であり、該第二面が第二面中央領域と第二面外周領域とを有し、該第二面中央領域が鏡面であり、該第二面外周領域が非鏡面である。

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