公开(公告)号：CN104303065A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201380024243.2

申请日：2013-05-31

Applicant: 旭化成微电子株式会社

Inventor： 藤田泰介 ,  冈武茂树

IPC: G01R33/07 ,  H01L43/06

CPC classification number: G01R35/00 ,  G01D3/0365 ,  G01D5/142 ,  G01D5/145 ,  G01K13/00 ,  G01R33/07 ,  H01L43/06

Abstract: 本发明涉及一种抑制布局面积的增大、消耗电流的增加并通过进行应力校正和温度校正来高精度地校正霍尔元件的磁灵敏度的霍尔电动势校正装置和霍尔电动势校正方法。霍尔电阻测量部(13)测量霍尔元件(11)所具有的多个电极间的两个方向以上的通电方向的霍尔电阻值(VR)。霍尔电动势测量部(14)测量霍尔元件的霍尔电动势(VH)。温度测量部(15)测量霍尔元件的环境温度。校正信号生成部(20)根据霍尔电阻测量部测量得到的霍尔电阻值和温度测量部的温度输出值(T)来校正霍尔电动势。校正系数运算电路(21)根据由霍尔电阻测量部测量出的霍尔电阻值和由温度测量部测量出的温度输出值来计算校正系数(K)。校正系数由应力校正系数(Kσ)和温度校正系数(KT)构成。

公开(公告)号：CN104303065B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201380024243.2

申请日：2013-05-31

Applicant: 旭化成微电子株式会社

Inventor： 藤田泰介 ,  冈武茂树

IPC: G01R33/07 ,  H01L43/06

Abstract: 本发明涉及一种抑制布局面积的增大、消耗电流的增加并通过进行应力校正和温度校正来高精度地校正霍尔元件的磁灵敏度的霍尔电动势校正装置和霍尔电动势校正方法。霍尔电阻测量部(13)测量霍尔元件(11)所具有的多个电极间的两个方向以上的通电方向的霍尔电阻值(VR)。霍尔电动势测量部(14)测量霍尔元件的霍尔电动势(VH)。温度测量部(15)测量霍尔元件的环境温度。校正信号生成部(20)根据霍尔电阻测量部测量得到的霍尔电阻值和温度测量部的温度输出值(T)来校正霍尔电动势。校正系数运算电路(21)根据由霍尔电阻测量部测量出的霍尔电阻值和由温度测量部测量出的温度输出值来计算校正系数(K)。校正系数由应力校正系数(Kσ)和温度校正系数(KT)构成。