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公开(公告)号：CN102939513B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201180029420.7
申请日：2011-06-15
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 大音仁昭
CPC classification number: G01N21/84 , C03B25/08 , G01B11/24 , G01B11/25 , G01N21/896 , G01N2021/8965 , H04N7/18
Abstract: 本发明能够以简单的结构准确地测定透明平板的正面形状。形状测定装置具备：拍摄部（2），配置成光轴相对于在作为测定对象的透明平板（3）的上方配置的直线性的图案（X）的延伸方向垂直，通过拍摄由透明平板（3）的正面（M1）和反面（M2）反射的图案（X）的2个反射点组，而生成包括在与所述延伸方向垂直的方向上分离的2个反射像的图像；正面反射点组推定部，使用透明平板（3）、图案（X）与拍摄部（2）的位置关系，根据图像来推定透明平板（3）的正面（M1）上的图案（X）的正面反射点组（A）；倾斜角度运算部，使用透明平板（3）、图案（X）与拍摄部（2）的位置关系，算出推定的正面反射点组（A）的位置处的透明平板（3）的正面（M1）的倾斜角度；正面形状决定部，基于算出的倾斜角度而决定透明平板（3）的正面（M1）的形状。
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公开(公告)号：CN105849503A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201480071278.6
申请日：2014-12-22
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B18/18 , C03B25/08 , G01B11/25 , G01B11/2513
Abstract: 测定装置具备：拍摄透明的被测定物的表面及背面处的预定图案的反射像的摄像部；使用摄像部拍摄到的反射像，算出表面或背面的厚度方向的位置的运算部。预定图案包括多个要素，该多个要素的各要素的沿着与该图案的延伸方向垂直的方向形成的一端和另一端沿该延伸方向相互偏离。
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公开(公告)号：CN102939512A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201180028347.1
申请日：2011-06-06
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 大音仁昭
CPC classification number: G06K9/00201 , C03B25/08 , G01B11/24 , G06K9/2036 , G06T7/521 , G06T7/593 , G06T2207/10012
Abstract: 提供一种即便是具有镜面的物体也能够应用立体法来测定三维形状的技术。形状测定装置(1)具备模板位置确定部(20)(移动前模板位置确定部、移动后模板位置确定部)、拍摄位置计算部(30)(移动前拍摄位置计算部、移动后拍摄位置计算部)、像素区域确定部(40)(第二像素区域确定部)、倾斜角度计算部(50)(移动前倾斜角度计算部、移动后倾斜角度计算部)、高度方向坐标决定部(60)及输出部(80)。
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公开(公告)号：CN102331241A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110196297.X
申请日：2011-07-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，在位于上述第一表面相反侧的第二表面配置抑制到达该第二表面的光发生反射的反射抑制层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102589474A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110420450.2
申请日：2011-12-13
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像中的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，向上述第一表面照射的上述图案的光的波长是200nm～380nm。
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公开(公告)号：CN102445168A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010502721.4
申请日：2010-09-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种以廉价的装置结构，能够除去背面反射图像的影响，高精度地检查表面形状的特性的检查方法及检查装置。首先，作为透明板状体(3)(被检查物体)适用的条纹图案，决定以透明板状体的表面形成的反射图像和透明板状体的背面形成的反射图像在通过拍摄而得到的图像信号分离的方式设定的、具有明暗图案的条纹图案(1)。其后，使用所决定的条纹图案(1)，只用条纹图案(1)的由透明板状体(3)的表面形成的反射图像，通过图像分析对透明板状体(3)的表面形状进行评价。
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公开(公告)号：CN101790679B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200880104499.3
申请日：2008-08-22
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 大音仁昭
IPC: G01N21/958 , G01B11/22
CPC classification number: G01N21/00 , G01N21/896 , G01N21/94 , G01N21/958 , G01N2021/8905 , G01N2021/8967
Abstract: 本发明提供一种检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置，稳定地检测透明板体内部的遮光性的微小异物，且获得微小异物深度的信息。该方法是通过测量亮度(E、F)来进行检测的方法，该亮度(E、F)是由对存在于具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体(1)内部的微小异物(4)进行照射的光束(2)的散射等而产生的，其特征在于，使光束(2)相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束(I)和由该内部光束(I)在透明板体表面反射而成的内部光束(II)，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动(沿(G)方向)，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物(4)由上述内部光束(I)照射而产生的亮点(E)和由上述内部光束(II)照射而产生的亮点(F)，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。
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公开(公告)号：CN102939513A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201180029420.7
申请日：2011-06-15
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 大音仁昭
CPC classification number: G01N21/84 , C03B25/08 , G01B11/24 , G01B11/25 , G01N21/896 , G01N2021/8965 , H04N7/18
Abstract: 本发明能够以简单的结构准确地测定透明平板的正面形状。形状测定装置具备：拍摄部（2），配置成光轴相对于在作为测定对象的透明平板（3）的上方配置的直线性的图案（X）的延伸方向垂直，通过拍摄由透明平板（3）的正面（M1）和反面（M2）反射的图案（X）的2个反射点组，而生成包括在与所述延伸方向垂直的方向上分离的2个反射像的图像；正面反射点组推定部，使用透明平板（3）、图案（X）与拍摄部（2）的位置关系，根据图像来推定透明平板（3）的正面（M1）上的图案（X）的正面反射点组（A）；倾斜角度运算部，使用透明平板（3）、图案（X）与拍摄部（2）的位置关系，算出推定的正面反射点组（A）的位置处的透明平板（3）的正面（M1）的倾斜角度；正面形状决定部，基于算出的倾斜角度而决定透明平板（3）的正面（M1）的形状。
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公开(公告)号：CN101790679A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200880104499.3
申请日：2008-08-22
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 大音仁昭
IPC: G01N21/958 , G01B11/22
CPC classification number: G01N21/00 , G01N21/896 , G01N21/94 , G01N21/958 , G01N2021/8905 , G01N2021/8967
Abstract: 本发明提供一种检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置，稳定地检测透明板体内部的遮光性的微小异物，且获得微小异物深度的信息。该方法是通过测量亮度(E、F)来进行检测的方法，该亮度(E、F)是由对存在于具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体(1)内部的微小异物(4)进行照射的光束(2)的散射等而产生的，其特征在于，使光束(2)相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束(I)和由该内部光束(I)在透明板体表面反射而成的内部光束(II)，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动(沿(G)方向)，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物(4)由上述内部光束(I)照射而产生的亮点(E)和由上述内部光束(II)照射而产生的亮点(F)，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。
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