衍射光学元件及计测装置

    公开(公告)号:CN106154563A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201610663875.9

    申请日:2012-03-02

    Inventor: 宫坂浩司

    CPC classification number: G02B27/0944 G02B27/4266

    Abstract: 本发明提供一种衍射光学元件及计测装置,该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域,具有:第1衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光;第2衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光,使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部,从上述第2衍射光学部产生衍射光,所述衍射光学元件的特征在于,上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1,产生的衍射光的光斑的数量为k1,上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2,产生的衍射光的光斑的数量为k2时,θ1≥θ2且k1≥k2,或者θ1≤θ2且k1≤k2,通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

    光学装置及光学构件
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107209304A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201680006330.9

    申请日:2016-01-14

    Inventor: 宫坂浩司

    Abstract: 本发明的光学构件具备反射散射部(11),反射散射部(11)具备对例如可见光(102)进行反射并使例如红外光(101a)透射的选择反射部(13)、至少设置在选择反射部的第一侧(视觉辨认侧)并使可见光(102)散射的散射部(12),光学构件对于红外光(101a)的直进透射率为75%以上。散射部(12)也可以是具备具有衍射构造的结构、在选择反射部(13)具有的反射构件的第一侧表面上形成的凹凸面、微粒子含有树脂层的结构。选择反射部(13)的反射构件也可以是电介质多层膜或胆甾相液晶层。而且,反射散射部(11)也可以具备在面内具有取向轴不同的多个区域的胆甾相液晶层。

    衍射光学元件及计测装置

    公开(公告)号:CN102654590B

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201210053167.5

    申请日:2012-03-02

    Inventor: 宫坂浩司

    CPC classification number: G02B27/0944 G02B27/4266

    Abstract: 本发明提供一种衍射光学元件及计测装置,该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域,具有:第1衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光;第2衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光,使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部,从上述第2衍射光学部产生衍射光,所述衍射光学元件的特征在于,上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1,产生的衍射光的光斑的数量为k1,上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2,产生的衍射光的光斑的数量为k2时,θ1≥θ2且k1≥k2,或者θ1≤θ2且k1≤k2,通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

    像差校正装置、光学装置及光学头装置

    公开(公告)号:CN102203861A

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN200980143874.X

    申请日:2009-10-30

    CPC classification number: G11B7/13925 G11B2007/0006

    Abstract: 本发明涉及一种像差校正装置,具备:对入射的光的相位进行调制的像差校正元件;及能够使所述像差校正元件沿与所述入射的光的光轴正交的方向移动的位置调整部,其中,所述像差校正元件配置有使透过的光的相位根据同相的所述入射的光透过的位置而不同的第一像差校正板和第二像差校正板,并具有使透过所述像差校正元件的所述光成为同相的所述第一像差校正板和所述第二像差校正板的配置作为基准配置,在所述基准配置中,设与所述光轴交叉的所述第一像差校正板上的点为点Oa、与所述光轴交叉的所述第二像差校正板上的点为点Ob时,所述位置调整部具备能够使所述第一像差校正板和所述第二像差校正板沿与所述光轴正交的方向移动且使所述点Oa和所述点Ob从所述基准配置相互向相反方向移动的机构,及/或能够使所述第一像差校正板和所述第二像差校正板以所述点Oa及所述点Ob为中心从所述基准配置相互向相反方向以相同角度旋转移动的机构。

    衍射光学元件和计测装置

    公开(公告)号:CN103097925A

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201180038910.3

    申请日:2011-08-02

    CPC classification number: G02B5/1861 G01B11/25 G02B5/18 G02B5/1842 G03H1/0244

    Abstract: 本发明提供能够极力抑制零级衍射光的产生并且在宽范围内生成光斑的衍射光学元件和计测装置。本发明通过提供一种衍射光学元件来解决上述问题,所述衍射光学元件具有凹凸且对入射光进行二维衍射而产生衍射光,其特征在于,将以所述入射光的光轴为基准的最大衍射角设为角度范围θ时,所述角度范围θ为7.5°以上,且零级衍射光的衍射效率为5%以下。

    衍射光学元件和计测装置

    公开(公告)号:CN103097925B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201180038910.3

    申请日:2011-08-02

    CPC classification number: G02B5/1861 G01B11/25 G02B5/18 G02B5/1842 G03H1/0244

    Abstract: 本发明提供能够极力抑制零级衍射光的产生并且在宽范围内生成光斑的衍射光学元件和计测装置。本发明通过提供一种衍射光学元件来解决上述问题,所述衍射光学元件具有凹凸且对入射光进行二维衍射而产生衍射光,其特征在于,将以所述入射光的光轴为基准的最大衍射角设为角度范围θ时,所述角度范围θ为7.5°以上,且零级衍射光的衍射效率为5%以下。

    衍射光学元件及计测装置

    公开(公告)号:CN102654590A

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN201210053167.5

    申请日:2012-03-02

    Inventor: 宫坂浩司

    CPC classification number: G02B27/0944 G02B27/4266

    Abstract: 本发明提供一种衍射光学元件及计测装置,该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域,具有:第1衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光;第2衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光,使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部,从上述第2衍射光学部产生衍射光,所述衍射光学元件的特征在于,上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1,产生的衍射光的光斑的数量为k1,上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2,产生的衍射光的光斑的数量为k2时,θ1≥θ2且k1≥k2,或者θ1≤θ2且k1≤k2,通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

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