公开(公告)号：CN101795869A

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN200780051691.6

申请日：2007-11-13

Applicant: 普林斯顿大学托管委员会 ,  密执安大学评议会

Inventor： R·伦特三世 ,  S·富里斯特

IPC: B41J29/377 ,  H01L51/00 ,  C23C14/12

CPC classification number: H01L51/0008 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/4551 ,  C23C16/45563

Abstract: 提供了用于有机蒸气喷射沉积的方法和系统，其中在相邻喷嘴(310，320)之间设置排气管(300)。该排气管可降低喷嘴中以及喷嘴与基底(110)之间的压力积聚，造成改进的沉积轮廓、分辨率和改进的喷嘴-喷嘴间均匀性。该排气管可以与环境真空流体连通或可以直接连向真空源。

公开(公告)号：CN101795869B

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN200780051691.6

申请日：2007-11-13

Applicant: 普林斯顿大学托管委员会 ,  密执安大学评议会

Inventor： R·伦特三世 ,  S·富里斯特

IPC: B41J29/377 ,  H01L51/00 ,  C23C14/12

CPC classification number: H01L51/0008 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/4551 ,  C23C16/45563

Abstract: 提供了用于有机蒸气喷射沉积的方法和系统，其中在相邻喷嘴(310，320)之间设置排气管(300)。该排气管可降低喷嘴中以及喷嘴与基底(110)之间的压力积聚，造成改进的沉积轮廓、分辨率和改进的喷嘴-喷嘴间均匀性。该排气管可以与环境真空流体连通或可以直接连向真空源。