プラズマエッチング装置用防着シートおよび粘着シート

    公开(公告)号:JP2020031173A

    公开(公告)日:2020-02-27

    申请号:JP2018157149

    申请日:2018-08-24

    Abstract: 【課題】プラズマエッチング装置において、脱ガスの発生量が少なく簡便に脱着可能な防着シートを提供する。 【解決手段】プラズマエッチング装置の真空室の内壁表面にエッチング処理によって発生する反応物が堆積することを防止するために、真空室の内壁表面に付着させるプラズマエッチング装置用防着シートである。前記プラズマエッチング装置用防着シートは、少なくともアラミド繊維からなる織物または編物である布帛からなる。前記布帛は、少なくとも熱可塑性樹脂層を有している。 【選択図】なし

    感光性組成物、ディスプレイ部材およびその製造方法
    7.
    发明申请
    感光性組成物、ディスプレイ部材およびその製造方法 审中-公开
    感光性组合物,显示部件及其制造方法

    公开(公告)号:WO2007080904A1

    公开(公告)日:2007-07-19

    申请号:PCT/JP2007/050197

    申请日:2007-01-11

    Abstract:  感光性有機成分50~5重量%およびガラス粉末50~95重量%を含有する感光性組成物であって、該ガラス粉末が酸化物換算表記でBi 2 O 3 70~85重量%、SiO 2 3~15重量%、B 2 O 3 5~20重量%、ZrO 2 0~3重量%およびZnO 1~10重量%を含む感光性組成物。フラットパネルディスプレイの各種部材や蛍光発光管などに用いられるフォトリソグラフィー処方による微細パターン加工を可能とする感光性組成物を提供する。

    Abstract translation: 一种光敏组合物,其包含50-5重量%的光敏有机成分和50-95重量%的玻璃颗粒,其中所述玻璃颗粒以氧化物的量计包含70-85重量%的Bi 2 N 2 3重量%,3-15重量%SiO 2,5-20重量%B 2 O 3 3, ,0-3重量%ZrO 2,和1-10重量%的ZnO。 适用于平板显示器,荧光管等的各种构件的光刻微加工图案可以用该感光组合物。

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