测定多面反射镜用电机的轴的倾倒的测定装置及测定方法

    公开(公告)号:CN101813464A

    公开(公告)日:2010-08-25

    申请号:CN201010116941.3

    申请日:2010-02-21

    CPC classification number: G01B11/272

    Abstract: 一种测定多面反射镜用电机的轴的倾倒的测定装置及测定方法,具有:射出测定光的光源;第一光检测元件,其直接接收测定光被被测定轴反射后的反射光的一部分来检测第一受光位置;第二光检测元件,其直接接收所述反射光的其他一部分来检测第二受光位置,根据从第一光检测元件输出的信号和从第二光检测元件输出的信号来测定所述轴的倾倒角度。

Patent Agency Ranking