公开(公告)号：CN1698160A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200480000565.4

申请日：2004-04-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 窱崎淳 ,  高濑道彦 ,  古川弘之

IPC: H01J9/46 ,  H01J9/20 ,  H01J11/02 ,  H01L21/68 ,  C23C14/50

CPC classification number: H01L21/68735 ,  C23C14/50 ,  H01J9/20 ,  H01J11/10 ,  H01J2209/012 ,  H01L21/68778 ,  Y02T50/67

Abstract: 一种将等离子体显示面板的基板(13)保持于基板保持部件(1)而对该基板进行成膜的等离子体显示面板的制造方法，其特征在于，所述基板保持部件(1)通过排列多个框体(2)而构成，由所述框体(2)中的至少一个将等离子体显示面板的基板(13)在其周边部保持，而且在保持基板(13)的框体(2)中设置有向保持的基板的非成膜面侧(13b)突出而包围基板(13)的突出部(5)。由于突出部(5)作为遮挡板发挥作用，因此可以抑制经过了基板保持部件(1)的开口部(4)的成膜材料绕到基板(13)的非成膜面(13b)而附着的问题。

公开(公告)号：CN100479082C

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200480000565.4

申请日：2004-04-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 窱崎淳 ,  高濑道彦 ,  古川弘之

IPC: H01J9/46 ,  H01J9/20 ,  H01J11/02 ,  H01L21/68 ,  C23C14/50

CPC classification number: H01L21/68735 ,  C23C14/50 ,  H01J9/20 ,  H01J11/10 ,  H01J2209/012 ,  H01L21/68778 ,  Y02T50/67

Abstract: 一种将等离子体显示面板的基板(13)保持于基板保持部件(1)而对该基板进行成膜的等离子体显示面板的制造方法，其特征在于，所述基板保持部件(1)通过排列多个框体(2)而构成，由所述框体(2)中的至少一个将等离子体显示面板的基板(13)在其周边部保持，而且在保持基板(13)的框体(2)中设置有向保持的基板的非成膜面侧(13b)突出而包围基板(13)的突出部(5)。由于突出部(5)作为遮挡板发挥作用，因此可以抑制经过了基板保持部件(1)的开口部(4)的成膜材料绕到基板(13)的非成膜面(13b)而附着的问题。